ALUMINUM NITRIDE-SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME: Fid-Bau Portal

ALUMINUM NITRIDE-SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

OTSUKA YUKI / ARAI TOSHIHIRO

To provide a method for producing an aluminum nitride-sintered body, capable of: producing the desired aluminum nitride-sintered body; producing an aluminum nitride green sheet from an aqueous slurry; reducing the amount of an organic solvent used; and furthermore reducing an environmental load.SOLUTION: A method of this invention for producing an aluminum nitride-sintered body includes: a primary mixing step of mixing a raw material powder comprising silicon-containing oxide-coated aluminum nitride particles and a sintering aid powder that contains a rare-earth element, with water to obtain a raw material slurry; a secondary mixing step of mixing the raw material slurry with a binder solution to obtain a mixture, and then subjecting the mixture to filtration to obtain a mixed slurry; a molding step of molding the mixed slurry to obtain an aluminum nitride-molded body; a degreasing step of heating the aluminum nitride-molded body at the temperature lower than 600°C under an oxidized gas atmosphere to obtain an aluminum nitride-degreased body; and a sintering step of sintering the aluminum nitride-degreased body to obtain the aluminum nitride-sintered body.SELECTED DRAWING: None

【課題】所望の窒化アルミニウム焼結体を製造することができるととともに、水系スラリーから窒化アルミニウムグリーンシートの製造が可能となり、有機溶剤の使用量を低減することができ、ひいては、環境負荷を低減することができる窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法は、珪素含有酸化物被覆窒化アルミニウム粒子、および希土類元素を含有する焼結助剤粉末を含む原料粉末と、水とを混合して原料スラリーを得る一次混合工程、前記原料スラリーとバインダー溶液とを混合して混合液を得、当該混合液を濾過して混合スラリーを得る二次混合工程、前記混合スラリーを成形して窒化アルミニウム成形体を得る成形工程、前記窒化アルミニウム成形体を酸化性ガス雰囲気下６００℃未満に加熱して窒化アルミニウム脱脂体を得る脱脂工程、および前記窒化アルミニウム脱脂体を焼結して窒化アルミニウム焼結体を得る焼結工程を含む。【選択図】なし

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