Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
To provide an alumina ceramic having a desired range of a surface resistivity while satisfying high purity and high density, and a manufacturing method thereof.SOLUTION: An alumina ceramic of the present invention relates to an alumina ceramic containing Al2O3 as its main crystal and using Mg and Si as sintering aids and having, in a range of at least from a surface layer to a depth of 500 μm, a Mg content of 400 ppm or over and 2000 ppm or under, a Mg/Si value of 0.5 or over and 30 or under, and moreover, a purity of Al2O3 of 99% or over, a pore diameter of 5 μm or under, and a surface resistivity of 4×1013 Ω/square or over and 1×1014 Ω/square or under.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高純度及び高緻密性を満たしつつ、所望の範囲の表面抵抗率を有するアルミナセラミックス、及びその製造方法、を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナセラミックスは、Ａｌ2Ｏ3を主結晶とし、焼結助剤としてＭｇとＳｉを使用するアルミナセラミックスであって、少なくとも表層から深さ５００μｍの範囲において、Ｍｇの含有量が４００ｐｐｍ以上２０００ｐｐｍ以下であり、かつＭｇ／Ｓｉの値が０．５以上３０以下であり、さらに、Ａｌ2Ｏ3の純度が９９％以上を有するとともに、気孔径が５μｍ以下、かつ表面抵抗率が４×１０13Ω／□以上１×１０14Ω／□以下である。【選択図】図１
ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
To provide an alumina ceramic having a desired range of a surface resistivity while satisfying high purity and high density, and a manufacturing method thereof.SOLUTION: An alumina ceramic of the present invention relates to an alumina ceramic containing Al2O3 as its main crystal and using Mg and Si as sintering aids and having, in a range of at least from a surface layer to a depth of 500 μm, a Mg content of 400 ppm or over and 2000 ppm or under, a Mg/Si value of 0.5 or over and 30 or under, and moreover, a purity of Al2O3 of 99% or over, a pore diameter of 5 μm or under, and a surface resistivity of 4×1013 Ω/square or over and 1×1014 Ω/square or under.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高純度及び高緻密性を満たしつつ、所望の範囲の表面抵抗率を有するアルミナセラミックス、及びその製造方法、を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナセラミックスは、Ａｌ2Ｏ3を主結晶とし、焼結助剤としてＭｇとＳｉを使用するアルミナセラミックスであって、少なくとも表層から深さ５００μｍの範囲において、Ｍｇの含有量が４００ｐｐｍ以上２０００ｐｐｍ以下であり、かつＭｇ／Ｓｉの値が０．５以上３０以下であり、さらに、Ａｌ2Ｏ3の純度が９９％以上を有するとともに、気孔径が５μｍ以下、かつ表面抵抗率が４×１０13Ω／□以上１×１０14Ω／□以下である。【選択図】図１
ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
アルミナセラミックス、及びアルミナセラミックスの製造方法
FUKAZAWA YUJI (Autor:in) / NAKAGAWA TAKUYA (Autor:in)
14.04.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME