Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ALUMINA CERAMIC
2차 전자 방출 계수가 작고, 고주파 발생 장치 및 플라즈마 생성 장치 등의 부재로서 적합한 알루미나 세라믹스를 제공한다. 상기 알루미나 세라믹스는, 알루미나를 주성분으로 하고, 알칼리 토류금속과, 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소 중 적어도 2 종류의 원소를 함유하고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소가 모두 알루미늄보다 큰 제1 이온화 에너지를 갖고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소의 전기 음성도의 차가 0 이상 0.6 이하이고, 알루미나 세라믹스 중의 결정립의 면적(y)에 대한 결정립계의 면적(x)의 비(x/y)가 0.0001 ~ 0.001 이다.
Provided is an alumina ceramic with a low secondary electron emission coefficient and suitable for components of a high frequency generator, a plasma generator and so on. The alumina ceramic contains alumina as a main component, and at least two kinds of elements selected from an alkaline earth metal and from an element belonging to period 3, 4 or 5. The alkaline earth metal and the element belonging to period 3, 4 or 5 have a higher first ionization energy than aluminum. An electronegativity difference between the alkaline earth metal and the element belonging to period 3, 4 or 5 is 0 or more and 0.6 or less. A ratio (x/y) of the grain boundary area (x) to the grain area (y) in the alumina ceramic is 0.0001 to 0.001.
ALUMINA CERAMIC
2차 전자 방출 계수가 작고, 고주파 발생 장치 및 플라즈마 생성 장치 등의 부재로서 적합한 알루미나 세라믹스를 제공한다. 상기 알루미나 세라믹스는, 알루미나를 주성분으로 하고, 알칼리 토류금속과, 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소 중 적어도 2 종류의 원소를 함유하고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소가 모두 알루미늄보다 큰 제1 이온화 에너지를 갖고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소의 전기 음성도의 차가 0 이상 0.6 이하이고, 알루미나 세라믹스 중의 결정립의 면적(y)에 대한 결정립계의 면적(x)의 비(x/y)가 0.0001 ~ 0.001 이다.
Provided is an alumina ceramic with a low secondary electron emission coefficient and suitable for components of a high frequency generator, a plasma generator and so on. The alumina ceramic contains alumina as a main component, and at least two kinds of elements selected from an alkaline earth metal and from an element belonging to period 3, 4 or 5. The alkaline earth metal and the element belonging to period 3, 4 or 5 have a higher first ionization energy than aluminum. An electronegativity difference between the alkaline earth metal and the element belonging to period 3, 4 or 5 is 0 or more and 0.6 or less. A ratio (x/y) of the grain boundary area (x) to the grain area (y) in the alumina ceramic is 0.0001 to 0.001.
ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
| Europäisches Patentamt | 2023