Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ELECTRODE BURYING MEMBER, AND SUBSTRATE HOLDING MEMBER
To provide an electrode burying member and a substrate holding member capable of providing sharp temperature gradient to a placed substrate.SOLUTION: An electrode burying member 100 comprises: a base material 10 integrally formed by a ceramic sintered body; and a heater electrode 20 buried in the base material 10. The base material 10 is formed with one or more grooves 30 each having an opening 32 on a top face 12 of the base material 10. A bottom part 34 of each groove 30 reaches a heater electrode layer 24 in which at least the heater electrode 20 is buried in a vertical cross section of the base material 10. The heater electrode 20 is divided into a plurality of regions by means of the grooves 30.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】載置された基板にシャープな温度勾配を設けることができる電極埋設部材および基板保持部材を提供する。【解決手段】電極埋設部材１００であって、セラミックス焼結体により一体的に形成された基材１０と、前記基材１０に埋設されたヒーター電極２０と、を備え、前記基材１０は、前記基材１０の上面１２に開口部３２を有する１または複数の溝３０が形成され、前記溝３０の底部３４は、前記基材１０の垂直な断面において、少なくとも前記ヒーター電極２０が埋設されたヒーター電極層２４まで達し、前記ヒーター電極２０は、前記溝３０によって複数の領域に区画される。【選択図】図１
ELECTRODE BURYING MEMBER, AND SUBSTRATE HOLDING MEMBER
To provide an electrode burying member and a substrate holding member capable of providing sharp temperature gradient to a placed substrate.SOLUTION: An electrode burying member 100 comprises: a base material 10 integrally formed by a ceramic sintered body; and a heater electrode 20 buried in the base material 10. The base material 10 is formed with one or more grooves 30 each having an opening 32 on a top face 12 of the base material 10. A bottom part 34 of each groove 30 reaches a heater electrode layer 24 in which at least the heater electrode 20 is buried in a vertical cross section of the base material 10. The heater electrode 20 is divided into a plurality of regions by means of the grooves 30.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】載置された基板にシャープな温度勾配を設けることができる電極埋設部材および基板保持部材を提供する。【解決手段】電極埋設部材１００であって、セラミックス焼結体により一体的に形成された基材１０と、前記基材１０に埋設されたヒーター電極２０と、を備え、前記基材１０は、前記基材１０の上面１２に開口部３２を有する１または複数の溝３０が形成され、前記溝３０の底部３４は、前記基材１０の垂直な断面において、少なくとも前記ヒーター電極２０が埋設されたヒーター電極層２４まで達し、前記ヒーター電極２０は、前記溝３０によって複数の領域に区画される。【選択図】図１
ELECTRODE BURYING MEMBER, AND SUBSTRATE HOLDING MEMBER
電極埋設部材、および基板保持部材
TAKAHASHI KAZUYA (Autor:in)
13.10.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
ELECTRODE BURYING MEMBER, AND SUBSTRATE HOLDING MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2023
SUPPORT MEMBER, SUBSTRATE HOLDING MEMBER, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| Europäisches Patentamt | 2022