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Composite for vacuum-chuck and manufacturing method of the same
The present invention relates to a composite for a vacuum chuck, comprising: 75 to 93 wt% of alumina; 7 to 25 wt% of silica; and with respect to 100 parts by weight of the alumina and the silica, 0.01 to 5 parts by weight of a carbon-based material. According to the present invention, the carbon-based material is dispersed to Al_2O_3 and SiO_2 ceramic materials, thereby reducing electric resistance to perform an antistatic function, having excellent mechanical properties, porosity, and a simple manufacturing process, and requiring low manufacturing costs.
본 발명은, 알루미나 75∼93중량%, 실리카 7∼25중량% 및 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0.01∼5중량부를 포함하는 진공척용 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, AlO, SiO세라믹 소재에 탄소계 물질이 분산되어 있으므로 전기저항이 감소되어 대전방지 기능을 가지며, 기계적특성(mechanical properties)이 우수하고, 다공성을 나타내며, 제조공정이 복잡하지 않고 간단하게 제조할 수 있으며, 제조비용이 적게 든다.
Composite for vacuum-chuck and manufacturing method of the same
The present invention relates to a composite for a vacuum chuck, comprising: 75 to 93 wt% of alumina; 7 to 25 wt% of silica; and with respect to 100 parts by weight of the alumina and the silica, 0.01 to 5 parts by weight of a carbon-based material. According to the present invention, the carbon-based material is dispersed to Al_2O_3 and SiO_2 ceramic materials, thereby reducing electric resistance to perform an antistatic function, having excellent mechanical properties, porosity, and a simple manufacturing process, and requiring low manufacturing costs.
본 발명은, 알루미나 75∼93중량%, 실리카 7∼25중량% 및 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0.01∼5중량부를 포함하는 진공척용 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, AlO, SiO세라믹 소재에 탄소계 물질이 분산되어 있으므로 전기저항이 감소되어 대전방지 기능을 가지며, 기계적특성(mechanical properties)이 우수하고, 다공성을 나타내며, 제조공정이 복잡하지 않고 간단하게 제조할 수 있으며, 제조비용이 적게 든다.
Composite for vacuum-chuck and manufacturing method of the same
진공척용 복합체 및 그 제조방법
KIM JONG YOUNG (Autor:in) / CHO WOO SEOK (Autor:in) / CHOI KWANG MIN (Autor:in)
05.01.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Composite Ceramic Composition for Manufacturing Vacuum Chuck
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