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VACUUM CHUCK COMPOSITE AND PREPARATION METHOD THEREFOR
The present invention relates to: a vacuum chuck composite comprising 75-93 wt% of alumina, 7-25 wt% of silica, and 0.01-5 parts by weight of a carbon-based material on the basis of 100 parts by weight of the total amounts of the alumina and the silica; and a preparation method therefor. According to the present invention, a carbon-based material is dispersed in Al2O3 and SiO2 ceramic materials, and thus the present invention has reduced electrical resistance so as to have an antistatic function, has excellent mechanical properties, exhibits porosity, can be prepared easily without a complex preparation process, and has low preparation costs.
La présente invention concerne : un composite de mandrin sous vide comprenant de 75 à 93 % en poids d'alumine, de 7 à 25 % en poids de silice, et de 0,01 à 5 parties en poids d'un matériau à base de carbone sur la base de 100 parties en poids des quantités totales de l'alumine et de la silice ; et son procédé de préparation. Selon la présente invention, un matériau à base de carbone est dispersé dans des matériaux céramiques en Al2O3 et SiO2, ce qui fait en sorte que la présente invention présente une résistance électrique réduite de sorte à avoir une fonction antistatique, a d'excellentes propriétés mécaniques, présente une porosité, peut être préparée facilement sans utiliser un procédé de préparation complexe, et a des coûts de préparation faibles.
본 발명은, 알루미나 75∼93중량%, 실리카 7∼25중량% 및 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0.01∼5중량부를 포함하는 진공척용 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, Al2O3, SiO2 세라믹 소재에 탄소계 물질이 분산되어 있으므로 전기저항이 감소되어 대전방지 기능을 가지며, 기계적특성(mechanical properties)이 우수하고, 다공성을 나타내며, 제조공정이 복잡하지 않고 간단하게 제조할 수 있으며, 제조비용이 적게 든다.
VACUUM CHUCK COMPOSITE AND PREPARATION METHOD THEREFOR
The present invention relates to: a vacuum chuck composite comprising 75-93 wt% of alumina, 7-25 wt% of silica, and 0.01-5 parts by weight of a carbon-based material on the basis of 100 parts by weight of the total amounts of the alumina and the silica; and a preparation method therefor. According to the present invention, a carbon-based material is dispersed in Al2O3 and SiO2 ceramic materials, and thus the present invention has reduced electrical resistance so as to have an antistatic function, has excellent mechanical properties, exhibits porosity, can be prepared easily without a complex preparation process, and has low preparation costs.
La présente invention concerne : un composite de mandrin sous vide comprenant de 75 à 93 % en poids d'alumine, de 7 à 25 % en poids de silice, et de 0,01 à 5 parties en poids d'un matériau à base de carbone sur la base de 100 parties en poids des quantités totales de l'alumine et de la silice ; et son procédé de préparation. Selon la présente invention, un matériau à base de carbone est dispersé dans des matériaux céramiques en Al2O3 et SiO2, ce qui fait en sorte que la présente invention présente une résistance électrique réduite de sorte à avoir une fonction antistatique, a d'excellentes propriétés mécaniques, présente une porosité, peut être préparée facilement sans utiliser un procédé de préparation complexe, et a des coûts de préparation faibles.
본 발명은, 알루미나 75∼93중량%, 실리카 7∼25중량% 및 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0.01∼5중량부를 포함하는 진공척용 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, Al2O3, SiO2 세라믹 소재에 탄소계 물질이 분산되어 있으므로 전기저항이 감소되어 대전방지 기능을 가지며, 기계적특성(mechanical properties)이 우수하고, 다공성을 나타내며, 제조공정이 복잡하지 않고 간단하게 제조할 수 있으며, 제조비용이 적게 든다.
VACUUM CHUCK COMPOSITE AND PREPARATION METHOD THEREFOR
COMPOSITE DE MANDRIN SOUS VIDE ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION CORRESPONDANT
진공척용 복합체 및 그 제조방법
KIM JONG YOUNG (Autor:in) / CHO WOO SEOK (Autor:in) / CHOI KWANG MIN (Autor:in)
22.02.2018
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Composite Ceramic Composition for Manufacturing Vacuum Chuck
| Europäisches Patentamt | 2024
Composite for vacuum-chuck and manufacturing method of the same
| Europäisches Patentamt | 2017
ELECTROSTATIC CHUCK AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| Europäisches Patentamt | 2020
ELECTROSTATIC CHUCK AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| Europäisches Patentamt | 2021