Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
세라믹 혼합물 페이스트는 산화물 세라믹 입자들, 연소 소실 입자들, 및 소성 조제를 포함한다. 상기 연소 소실 입자들은 상기 산화물 세라믹 입자들의 소성 온도보다 낮은 온도에서 연소 소실된다. 상기 소성 조제는 상기 소성 온도보다 낮은 온도에서 용융된다. 상기 산화물 세라믹 입자들의 체적에 대한 상기 연소 소실 입자들의 체적 비율은 0%보다 크고 20% 이하이다.
A ceramic mixture paste includes oxide ceramic particles, burn-off particles, and a firing aid. The burn-off particles are burned off at a temperature lower than the firing temperature of the oxide ceramic particles. The firing aid melts at a temperature lower than the firing temperature. The ratio of the volume of the burn-off particles to the volume of the oxide ceramic particles is more than 0% and less than or equal to 20%.
CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
세라믹 혼합물 페이스트는 산화물 세라믹 입자들, 연소 소실 입자들, 및 소성 조제를 포함한다. 상기 연소 소실 입자들은 상기 산화물 세라믹 입자들의 소성 온도보다 낮은 온도에서 연소 소실된다. 상기 소성 조제는 상기 소성 온도보다 낮은 온도에서 용융된다. 상기 산화물 세라믹 입자들의 체적에 대한 상기 연소 소실 입자들의 체적 비율은 0%보다 크고 20% 이하이다.
A ceramic mixture paste includes oxide ceramic particles, burn-off particles, and a firing aid. The burn-off particles are burned off at a temperature lower than the firing temperature of the oxide ceramic particles. The firing aid melts at a temperature lower than the firing temperature. The ratio of the volume of the burn-off particles to the volume of the oxide ceramic particles is more than 0% and less than or equal to 20%.
CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
세라믹 혼합물 페이스트, 다공질체 및 그 제조 방법, 정전척 및 그 제조 방법, 기판 고정 장치
08.05.2024
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
| Europäisches Patentamt | 2019
Ceramic mixture paste, porous body, electrostatic chuck, and substrate fixing device
| Europäisches Patentamt | 2023
CERAMIC MIXTURE PASTE, POROUS BODY, ELECTROSTATIC CHUCK, AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
| Europäisches Patentamt | 2019
| Europäisches Patentamt | 2019
Electrostatic chuck, substrate fixing device and manufacturing method of electrostatic chuck
| Europäisches Patentamt | 2023