Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Ceramic susceptor and manufacturing method thereof
통상의 세라믹 서셉터에 비하여 특히 고온에서의 체적 저항과 상온에서의 열전도도가 우수한 세라믹 서셉터 및 이의 제조방법이 개시된다. 상기 세라믹 서셉터는, 알루미나(Al2O3); 및 질화알루미늄(AlN);을 포함하고, 산질화알루미늄 상(AlON phase)을 포함한 2차 상은 포함하지 않는 것을 특징으로 한다.
A ceramic susceptor particularly with excellent volumetric resistance at high temperatures and thermal conductivity at room temperature compared to a typical ceramic susceptor and a method for manufacturing the same are disclosed. The ceramic susceptor is characterized by comprising alumina (Al2O3); and aluminum nitride (AlN), and not comprising a secondary phase including an aluminum oxynitride phase (AlON phase).
Ceramic susceptor and manufacturing method thereof
통상의 세라믹 서셉터에 비하여 특히 고온에서의 체적 저항과 상온에서의 열전도도가 우수한 세라믹 서셉터 및 이의 제조방법이 개시된다. 상기 세라믹 서셉터는, 알루미나(Al2O3); 및 질화알루미늄(AlN);을 포함하고, 산질화알루미늄 상(AlON phase)을 포함한 2차 상은 포함하지 않는 것을 특징으로 한다.
A ceramic susceptor particularly with excellent volumetric resistance at high temperatures and thermal conductivity at room temperature compared to a typical ceramic susceptor and a method for manufacturing the same are disclosed. The ceramic susceptor is characterized by comprising alumina (Al2O3); and aluminum nitride (AlN), and not comprising a secondary phase including an aluminum oxynitride phase (AlON phase).
Ceramic susceptor and manufacturing method thereof
세라믹 서셉터 및 이의 제조방법
KIM YUN HO ( Autor:in ) / KIM JOO HWAN ( Autor:in ) / PARK HWAN YOUNG ( Autor:in ) / KIM BO SUNG ( Autor:in ) / LEE HYUN TAEK ( Autor:in )
05.07.2024
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch