Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
The present invention relates to a ceramic susceptor. According to the present invention, the ceramic susceptor including a ceramic plate with a high-frequency electrode, in which the ceramic plate includes a connector accessed to the high-frequency electrode, comprises: an electrode rod having an end unit on one side connected to the connector to supply power to the high-frequency electrode. The electrode rod uses Mo, W, or an alloy thereof as a parent metal, and includes a metal nitride film including Cr on a surface of the parent metal. Therefore, a short circuit can be prevented.
본 발명은 세라믹 서셉터에 관한 것으로서, 본 발명의 고주파 전극이 배치된 세라믹 플레이트를 포함하는 세라믹 서셉터는, 상기 세라믹 플레이트는 상기 고주파 전극에 접속되는 커넥터를 포함하고, 일측 단부가 상기 커넥터와 연결되어 상기 고주파 전극에 전력을 공급하기 위한 전극 로드를 포함하고, 상기 전극 로드는 Mo, W 또는 이들의 합금을 모재로 하고, 상기 모재 표면에 Cr을 포함하는 금속 질화막을 포함한다.
The present invention relates to a ceramic susceptor. According to the present invention, the ceramic susceptor including a ceramic plate with a high-frequency electrode, in which the ceramic plate includes a connector accessed to the high-frequency electrode, comprises: an electrode rod having an end unit on one side connected to the connector to supply power to the high-frequency electrode. The electrode rod uses Mo, W, or an alloy thereof as a parent metal, and includes a metal nitride film including Cr on a surface of the parent metal. Therefore, a short circuit can be prevented.
본 발명은 세라믹 서셉터에 관한 것으로서, 본 발명의 고주파 전극이 배치된 세라믹 플레이트를 포함하는 세라믹 서셉터는, 상기 세라믹 플레이트는 상기 고주파 전극에 접속되는 커넥터를 포함하고, 일측 단부가 상기 커넥터와 연결되어 상기 고주파 전극에 전력을 공급하기 위한 전극 로드를 포함하고, 상기 전극 로드는 Mo, W 또는 이들의 합금을 모재로 하고, 상기 모재 표면에 Cr을 포함하는 금속 질화막을 포함한다.
Ceramic Susceptor
세라믹 서셉터
KIM TAEKGON (Autor:in)
29.12.2023
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch