Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND CERAMIC GUID PLATE
본 발명에 의하면, 프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조함에 있어서 하나 이상의 알루미나(AlO) 조성의 그린시트와 하나 이상의 저온동시소성세라믹스(LTCC) 조성의 그린시트를 교호 적층하고 이 적층물을 프레스하여 그린 바를 형성하고 상기 그린 바의 일면에 레이저 광을 조사하며, 이때 상기 레이저 광의 조사는 하나의 관통홀 당 레이저 광을 복수회 연속하여 조사하되, 상기 레이저 광의 조사 횟수가 누적될수록 형성되는 홀의 깊이가 깊어지고 최후 레이저 광 조사에 의하여 상기 그린 바가 관통되어 관통홀이 형성되도록 한다. 이리하면, 그린 바를 형성하는 시트들의 수축이 크게 억제되어 관통홀의 위치 정밀도를 향상시킬 뿐만 아니라 공정이 매우 단순화된다. 또한, 위와 같이 복수회로 수행되는 레이저 광 조사에 의한 천공은 단일 레이저 광 조사에 의한 천공보다 관통공의 테이퍼 현상을 억제할 수 있고 더더욱 관통홀의 위치 정밀도를 크게 개선할 수 있다. 나아가, 상기 LTCC 그린시트의 조성물에는 카본 파우더를 첨가함으로써 레이저로 천공 시 발생하는 열을 분산하고 저하시켜 레이저의 고온으로 인해 다른 홀에 비해 크기가 2배 이상으로 천공되는 현상인 터짐 현상을 억제할 수 있고 이에 따라 더 정밀하게 관통홀을 형성할 수 있다.
MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND CERAMIC GUID PLATE
본 발명에 의하면, 프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조함에 있어서 하나 이상의 알루미나(AlO) 조성의 그린시트와 하나 이상의 저온동시소성세라믹스(LTCC) 조성의 그린시트를 교호 적층하고 이 적층물을 프레스하여 그린 바를 형성하고 상기 그린 바의 일면에 레이저 광을 조사하며, 이때 상기 레이저 광의 조사는 하나의 관통홀 당 레이저 광을 복수회 연속하여 조사하되, 상기 레이저 광의 조사 횟수가 누적될수록 형성되는 홀의 깊이가 깊어지고 최후 레이저 광 조사에 의하여 상기 그린 바가 관통되어 관통홀이 형성되도록 한다. 이리하면, 그린 바를 형성하는 시트들의 수축이 크게 억제되어 관통홀의 위치 정밀도를 향상시킬 뿐만 아니라 공정이 매우 단순화된다. 또한, 위와 같이 복수회로 수행되는 레이저 광 조사에 의한 천공은 단일 레이저 광 조사에 의한 천공보다 관통공의 테이퍼 현상을 억제할 수 있고 더더욱 관통홀의 위치 정밀도를 크게 개선할 수 있다. 나아가, 상기 LTCC 그린시트의 조성물에는 카본 파우더를 첨가함으로써 레이저로 천공 시 발생하는 열을 분산하고 저하시켜 레이저의 고온으로 인해 다른 홀에 비해 크기가 2배 이상으로 천공되는 현상인 터짐 현상을 억제할 수 있고 이에 따라 더 정밀하게 관통홀을 형성할 수 있다.
MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND CERAMIC GUID PLATE
프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트의 제조방법 및 세라믹 가이드 플레이트
YEO DONG HUN (Autor:in) / SHIN HYO SOON (Autor:in) / AN IK JUN (Autor:in) / IN CHI SEUNG (Autor:in)
13.10.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD
Europäisches Patentamt | 2018
| Europäisches Patentamt | 2024
CERAMIC PLATE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC PLATE
| Europäisches Patentamt | 2024