Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Method for manufacturing ceramic heater ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
A method of manufacturing a ceramic heater plate is provided. A ceramic heater plate, according to an embodiment of the present invention, is implemented by the steps of: (1) forming a pattern part by engraving a groove with a predetermined width and depth extending along one surface of a first ceramic layer containing silicon; (2) placing a resistance heating element in the groove and a filler containing silicon that fills the remaining space of the groove in which the resistance heating element is accommodated; (3) manufacturing a ceramic molded body by temporarily bonding a second ceramic layer containing silicon to one surface of the first ceramic layer; and (4) nitriding and sintering the ceramic molded body to produce a silicon nitride (Si_3N_4) ceramic sintered body. According to this, manufacturing time and man-hours can be reduced, making it suitable for mass production of ceramic heater plates. In addition, the ceramic heater plate exhibits excellent heat dissipation performance and is highly resistant to plasma, chemicals, and thermal shock. Thus, the ceramic heater plate can be widely used in semislaughtered meat holding devices used in increasingly harsh semislaughtered meat processes.
세라믹 히터 플레이트 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 히터 플레이트는 (1) 실리콘을 함유한 제1세라믹층 일면에 면을 따라서 연장된 소정의 폭과 깊이를 갖는 홈을 음각시켜서 패턴부를 형성하는 단계, (2) 상기 홈에 저항 발열체 및 저항 발열체가 수용된 홈의 나머지 공간을 채우는 실리콘을 함유하는 충진물을 배치시키는 단계, (3) 상기 제1세라믹층 일면 상에 실리콘을 함유한 제2세라믹층 을 가접합 시킨 세라믹 성형체를 제조하는 단계 및 (4) 상기 세라믹 성형체를 질화 및 소결시켜서 질화규소(Si3N4) 세라믹 소결체를 제조하는 단계를 포함하여 구현된다. 이에 의하면, 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있어서 세라믹 히터 플레이트를 대량생산하는데 적합할 수 있다. 또한, 우수한 방열성능을 발현하면서도 내플라즈마성, 내화학성 및 내열충격성이 뛰어남에 따라서 가혹해지는 반도체 공정에 사용되는 반도체 유지장치에 널리 이용될 수 있다.
Method for manufacturing ceramic heater ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
A method of manufacturing a ceramic heater plate is provided. A ceramic heater plate, according to an embodiment of the present invention, is implemented by the steps of: (1) forming a pattern part by engraving a groove with a predetermined width and depth extending along one surface of a first ceramic layer containing silicon; (2) placing a resistance heating element in the groove and a filler containing silicon that fills the remaining space of the groove in which the resistance heating element is accommodated; (3) manufacturing a ceramic molded body by temporarily bonding a second ceramic layer containing silicon to one surface of the first ceramic layer; and (4) nitriding and sintering the ceramic molded body to produce a silicon nitride (Si_3N_4) ceramic sintered body. According to this, manufacturing time and man-hours can be reduced, making it suitable for mass production of ceramic heater plates. In addition, the ceramic heater plate exhibits excellent heat dissipation performance and is highly resistant to plasma, chemicals, and thermal shock. Thus, the ceramic heater plate can be widely used in semislaughtered meat holding devices used in increasingly harsh semislaughtered meat processes.
세라믹 히터 플레이트 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 히터 플레이트는 (1) 실리콘을 함유한 제1세라믹층 일면에 면을 따라서 연장된 소정의 폭과 깊이를 갖는 홈을 음각시켜서 패턴부를 형성하는 단계, (2) 상기 홈에 저항 발열체 및 저항 발열체가 수용된 홈의 나머지 공간을 채우는 실리콘을 함유하는 충진물을 배치시키는 단계, (3) 상기 제1세라믹층 일면 상에 실리콘을 함유한 제2세라믹층 을 가접합 시킨 세라믹 성형체를 제조하는 단계 및 (4) 상기 세라믹 성형체를 질화 및 소결시켜서 질화규소(Si3N4) 세라믹 소결체를 제조하는 단계를 포함하여 구현된다. 이에 의하면, 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있어서 세라믹 히터 플레이트를 대량생산하는데 적합할 수 있다. 또한, 우수한 방열성능을 발현하면서도 내플라즈마성, 내화학성 및 내열충격성이 뛰어남에 따라서 가혹해지는 반도체 공정에 사용되는 반도체 유지장치에 널리 이용될 수 있다.
Method for manufacturing ceramic heater ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
세라믹 히터 플레이트 제조방법, 이를 통해 제조된 세라믹 히터 플레이트 및 이를 포함하는 반도체 유지장치
CHEONG HUN (Autor:in) / WOO KYUNG WHAN (Autor:in) / OH CHANG WOO (Autor:in)
17.08.2023
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
H05B
ELECTRIC HEATING
,
Elektrische Heizung
| Europäisches Patentamt | 2023
DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC HEATER, AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC HEATER
| Europäisches Patentamt | 2015
Ceramic heater for semiconductor manufacturing equipment
| Europäisches Patentamt | 2024
CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2024
CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2024