Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Susceptor and manufacturing method thereof
본 발명의 일 관점에 따르면 서셉터의 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 서셉터의 제조방법은, 내부에 가스 유로가 형성된 정전척 및 베이스 플레이트를 준비하는 단계; 정전척 내부의 가스 유로와 베이스 플레이트 내부의 가스 유로 사이에 배치되는 부쉬-필터 결합체를 준비하는 단계; 및 부쉬-필터 결합체의 일부는 정전척의 일측면에 형성된 제 1 수용부에 수용되고, 나머지 부분의 적어도 일부는 베이스 플레이트의 일측면에 형성된 제 2 수용부에 수용되도록 정전척과 베이스 플레이트를 결합하는 단계;를 포함한다.
A method of manufacturing a susceptor includes preparing an electrostatic chuck (ESC) and a base plate, each including a gas channel, preparing a bush-filter assembly disposed between the gas channel in the ESC and the gas channel in the base plate, and coupling the ESC to the base plate in such a manner that a portion of the bush-filter assembly is accommodated in a first accommodation part formed in a surface of the ESC and that a remaining portion of the bush-filter assembly is at least partially accommodated in a second accommodation part formed in a surface of the base plate.
Susceptor and manufacturing method thereof
본 발명의 일 관점에 따르면 서셉터의 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 서셉터의 제조방법은, 내부에 가스 유로가 형성된 정전척 및 베이스 플레이트를 준비하는 단계; 정전척 내부의 가스 유로와 베이스 플레이트 내부의 가스 유로 사이에 배치되는 부쉬-필터 결합체를 준비하는 단계; 및 부쉬-필터 결합체의 일부는 정전척의 일측면에 형성된 제 1 수용부에 수용되고, 나머지 부분의 적어도 일부는 베이스 플레이트의 일측면에 형성된 제 2 수용부에 수용되도록 정전척과 베이스 플레이트를 결합하는 단계;를 포함한다.
A method of manufacturing a susceptor includes preparing an electrostatic chuck (ESC) and a base plate, each including a gas channel, preparing a bush-filter assembly disposed between the gas channel in the ESC and the gas channel in the base plate, and coupling the ESC to the base plate in such a manner that a portion of the bush-filter assembly is accommodated in a first accommodation part formed in a surface of the ESC and that a remaining portion of the bush-filter assembly is at least partially accommodated in a second accommodation part formed in a surface of the base plate.
Susceptor and manufacturing method thereof
서셉터 및 그 제조방법
JIONG SO HYUNG (Autor:in) / KIM HYUNG JOON (Autor:in) / LEE JONG GUN (Autor:in)
05.07.2024
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
High Temperature Microwave Susceptor and Manufacturing Method Thereof
| Europäisches Patentamt | 2017