Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 40 mol % to less than 100 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 60 mol % of ZrO2, and above 0 mol % to 5 mol % of Al2O3.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 40 mol % to less than 100 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 60 mol % of ZrO2, and above 0 mol % to 5 mol % of Al2O3.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
SUN JENNIFER Y (Autor:in) / KANUNGO BIRAJA P (Autor:in)
10.11.2016
Patent
Elektronische Ressource
Englisch