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DIELECTRIC THIN FILM, CAPACITIVE ELEMENT AND ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE
[Problem] The purpose of the present invention is to provide a capacitive element and a dielectric thin film having a small dielectric loss and a large relative permittivity, particularly at low frequencies. [Solution] This dielectric thin film includes an A-B-O-N oxynitride. When the A-B-O-N oxynitride is represented by the compositional formula AaBbOoNn, (o + n)/a < 3.00 is satisfied.
Le problème de la présente invention est de fournir un élément capacitif et une couche mince diélectrique ayant une faible perte diélectrique et une grande constante diélectrique, particulièrement à des fréquences faibles. La solution de l'invention porte sur une couche mince diélectrique comprenant un oxynitrure A-B-O-N. Quand l'oxynitrure est représenté par la formule de composition AaBbOoNn, (o + n)/a < 3,00 est satisfait.
【課題】 特に低周波数での比誘電率が大きく、誘電損失が小さい誘電体薄膜および容量素子を提供することを目的とする。 【解決手段】 Ａ－Ｂ－Ｏ－Ｎ型酸窒化物を有する誘電体薄膜である。Ａ－Ｂ－Ｏ－Ｎ型酸窒化物を組成式ＡａＢｂＯｏＮｎで表す場合に、（ｏ＋ｎ）／ａ＜３．００を満たす。
DIELECTRIC THIN FILM, CAPACITIVE ELEMENT AND ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE
[Problem] The purpose of the present invention is to provide a capacitive element and a dielectric thin film having a small dielectric loss and a large relative permittivity, particularly at low frequencies. [Solution] This dielectric thin film includes an A-B-O-N oxynitride. When the A-B-O-N oxynitride is represented by the compositional formula AaBbOoNn, (o + n)/a < 3.00 is satisfied.
Le problème de la présente invention est de fournir un élément capacitif et une couche mince diélectrique ayant une faible perte diélectrique et une grande constante diélectrique, particulièrement à des fréquences faibles. La solution de l'invention porte sur une couche mince diélectrique comprenant un oxynitrure A-B-O-N. Quand l'oxynitrure est représenté par la formule de composition AaBbOoNn, (o + n)/a < 3,00 est satisfait.
【課題】 特に低周波数での比誘電率が大きく、誘電損失が小さい誘電体薄膜および容量素子を提供することを目的とする。 【解決手段】 Ａ－Ｂ－Ｏ－Ｎ型酸窒化物を有する誘電体薄膜である。Ａ－Ｂ－Ｏ－Ｎ型酸窒化物を組成式ＡａＢｂＯｏＮｎで表す場合に、（ｏ＋ｎ）／ａ＜３．００を満たす。
DIELECTRIC THIN FILM, CAPACITIVE ELEMENT AND ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE
COUCHE MINCE DIÉLECTRIQUE, ÉLÉMENT CAPACITIF, ET SUBSTRAT DE CIRCUIT ÉLECTRONIQUE
誘電体薄膜、容量素子および電子回路基板
YAMAZAKI KUMIKO (Autor:in) / SATO WAKIKO (Autor:in) / YAMAZAKI JUNICHI (Autor:in)
05.03.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
POLYCRYSTAL DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITIVE ELEMENT
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