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SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
The present invention provides a silicon nitride powder which has an oxygen content of 3.0% by mass or less, while having a total content of fluorine and chlorine of 25 ppm by mass or less. The present invention also provides a method for producing a silicon nitride powder, which comprises a firing step wherein a silicon nitride powder is obtained by firing a starting material powder at 1,300 to 1,550°C for 50 hours or more in a nitrogen atmosphere, said starting material powder containing a silica powder, a carbon powder and a seed crystal of silicon nitride.
La présente invention concerne une poudre de nitrure de silicium qui a une teneur en oxygène de 3,0 % en masse ou moins, tout en ayant une teneur totale en fluor et en chlore de 25 ppm en masse ou moins. La présente invention concerne également une méthode de production d'une poudre de nitrure de silicium, qui comprend une étape de cuisson dans laquelle une poudre de nitrure de silicium est obtenue par cuisson d'une poudre de matériau de départ à 1 300 à 1 550°C pendant 50 heures ou plus dans une atmosphère d'azote, ladite poudre de matériau de départ contenant une poudre de silice, une poudre de carbone et un germe cristallin de nitrure de silicium.
酸素含有量が３．０質量％以下、及び、並びに、フッ素及び塩素の合計含有量が２５質量ｐｐｍ以下である窒化ケイ素粉末を提供する。シリカ粉末とカーボン粉末と窒化ケイ素の種結晶とを含む原料粉末を、窒素雰囲気中、１３００～１５５０℃で５０時間以上焼成して窒化ケイ素粉末を得る焼成工程を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
The present invention provides a silicon nitride powder which has an oxygen content of 3.0% by mass or less, while having a total content of fluorine and chlorine of 25 ppm by mass or less. The present invention also provides a method for producing a silicon nitride powder, which comprises a firing step wherein a silicon nitride powder is obtained by firing a starting material powder at 1,300 to 1,550°C for 50 hours or more in a nitrogen atmosphere, said starting material powder containing a silica powder, a carbon powder and a seed crystal of silicon nitride.
La présente invention concerne une poudre de nitrure de silicium qui a une teneur en oxygène de 3,0 % en masse ou moins, tout en ayant une teneur totale en fluor et en chlore de 25 ppm en masse ou moins. La présente invention concerne également une méthode de production d'une poudre de nitrure de silicium, qui comprend une étape de cuisson dans laquelle une poudre de nitrure de silicium est obtenue par cuisson d'une poudre de matériau de départ à 1 300 à 1 550°C pendant 50 heures ou plus dans une atmosphère d'azote, ladite poudre de matériau de départ contenant une poudre de silice, une poudre de carbone et un germe cristallin de nitrure de silicium.
酸素含有量が３．０質量％以下、及び、並びに、フッ素及び塩素の合計含有量が２５質量ｐｐｍ以下である窒化ケイ素粉末を提供する。シリカ粉末とカーボン粉末と窒化ケイ素の種結晶とを含む原料粉末を、窒素雰囲気中、１３００～１５５０℃で５０時間以上焼成して窒化ケイ素粉末を得る焼成工程を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM ET SA MÉTHODE DE PRODUCTION, ET MÉTHODE DE PRODUCTION DE CORPS FRITTÉ EN NITRURE DE SILICIUM
窒化ケイ素粉末及びその製造方法、並びに、窒化ケイ素焼結体の製造方法
SHIOTSUKI HIROYUKI (Autor:in) / TAKEDA GO (Autor:in) / TANAKA TAKAAKI (Autor:in)
03.12.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2021
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2025
METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE POWDER, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2024
SILICON NITRIDE POWDER, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2022
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2021