Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
PART FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
A part for a plasma processing apparatus that is configured of a ceramic tubular body mainly composed of a rare earth element oxide, aluminum oxide or a rare earth element aluminum composite oxide and that has a through hole in the axial direction, wherein the number of recesses with a depth of 10-20 μm (inclusive) that start from a ridgeline between the inner peripheral surface of the tubular body and an observation target surface obtained by polishing from the outer peripheral surface of the tubular body toward the axis is 2 or less per 1 mm of the ridgeline length.
La présente invention concerne une pièce pour un appareil de traitement au plasma, qui est constituée d'un corps tubulaire en céramique principalement composé d'un oxyde d'élément de terres rares, d'un oxyde d'aluminium ou d'un oxyde composite d'aluminium et d'élément de terres rares et qui a un trou traversant dans la direction axiale, le nombre d'évidements ayant une profondeur de 10 à 20 µm (inclus) qui partent d'une ligne de crête entre la surface périphérique interne du corps tubulaire et une surface cible d'observation obtenue par polissage à partir de la surface périphérique externe du corps tubulaire en direction de l'axe étant de 2 ou moins pour 1 mm de la longueur de ligne de crête.
貫通孔を軸方向に備えた、希土類元素酸化物、酸化アルミニウムまたは希土類元素アルミニウム複合酸化物を主成分とするセラミックスの筒状体からなるプラズマ処理装置用部材であって、筒状体の内周面と、筒状体の外周面から軸心に向かって研磨して得られる観察対象面との稜線を起点とする、深さが１０μｍ以上２０μｍ以下の凹部の個数が稜線の長さ１ｍｍ当たり２個以下である。
PART FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
A part for a plasma processing apparatus that is configured of a ceramic tubular body mainly composed of a rare earth element oxide, aluminum oxide or a rare earth element aluminum composite oxide and that has a through hole in the axial direction, wherein the number of recesses with a depth of 10-20 μm (inclusive) that start from a ridgeline between the inner peripheral surface of the tubular body and an observation target surface obtained by polishing from the outer peripheral surface of the tubular body toward the axis is 2 or less per 1 mm of the ridgeline length.
La présente invention concerne une pièce pour un appareil de traitement au plasma, qui est constituée d'un corps tubulaire en céramique principalement composé d'un oxyde d'élément de terres rares, d'un oxyde d'aluminium ou d'un oxyde composite d'aluminium et d'élément de terres rares et qui a un trou traversant dans la direction axiale, le nombre d'évidements ayant une profondeur de 10 à 20 µm (inclus) qui partent d'une ligne de crête entre la surface périphérique interne du corps tubulaire et une surface cible d'observation obtenue par polissage à partir de la surface périphérique externe du corps tubulaire en direction de l'axe étant de 2 ou moins pour 1 mm de la longueur de ligne de crête.
貫通孔を軸方向に備えた、希土類元素酸化物、酸化アルミニウムまたは希土類元素アルミニウム複合酸化物を主成分とするセラミックスの筒状体からなるプラズマ処理装置用部材であって、筒状体の内周面と、筒状体の外周面から軸心に向かって研磨して得られる観察対象面との稜線を起点とする、深さが１０μｍ以上２０μｍ以下の凹部の個数が稜線の長さ１ｍｍ当たり２個以下である。
PART FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
PIÈCE POUR APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA
プラズマ処理装置用部材、その製造方法およびプラズマ処理装置
TANAKA MANPEI (Autor:in)
01.04.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
PART FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2022
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING APPARATUS MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2019
Ceramic structure for plasma processing apparatus and manufacturing method thereof
| Europäisches Patentamt | 2022
CERAMIC STRUCTURE FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| Europäisches Patentamt | 2020
| Europäisches Patentamt | 2019