Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
This ceramic contains, by mass%: 20.0-60.0% of Si3N4; 25.0-70.0% of ZrO2; 2.0-17.0% of at least one selected from SiC and AlN (where AlN is 10.0% or less); and 5.0-15.0% of at least one selected from MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO, and V2O5, wherein Fn calculated from equation (1) below is 0.02-0.40. This ceramic can be subjected to a highly efficient laser processing. Fn=(SiC＋3AlN)/(Si3N4＋ZrO2)・・・ (1)
Céramique contenant, en % en masse : 20,0 à 60,0 % de Si3N4 ; 25,0 à 70,0 % de ZrO2 ; 2,0 à 17,0 % d'au moins un élément choisi parmi SiC et AlN (AlN est inférieur ou égal à 10,0 %) ; et 5,0 à 15,0 % d'au moins un élément choisi parmi Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO et V2O5, Fn calculé à partir de l'équation (1) ci-dessous valant 0,02 à 0,40. Cette céramique peut être soumise à un traitement laser hautement efficace. Fn=(SiC＋3AlN)/(Si3N4＋ZrO2)・・・ (1)
質量％で、 Ｓｉ３Ｎ４：２０．０～６０．０％と、 ＺｒＯ２：２５．０～７０．０％と、 ＳｉＣおよびＡｌＮから選択される１種類以上：２．０～１７．０％（ただし、ＡｌＮは１０．０％以下）と、 ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＯ、ＨｆＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｏＯ3、ＣｒＯ、ＣｏＯ、ＺｎＯ、Ｇａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＮｉＯおよびＶ２Ｏ５から選択される１種類以上：５．０～１５．０％とを含有し、 下記（１）式から求められるＦｎが０．０２～０．４０である、 セラミックス。このセラミックスは、高効率なレーザ加工が可能である。 Ｆｎ＝（ＳｉＣ＋３ＡｌＮ）／（Ｓｉ３Ｎ４＋ＺｒＯ２）・・・（１）
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
This ceramic contains, by mass%: 20.0-60.0% of Si3N4; 25.0-70.0% of ZrO2; 2.0-17.0% of at least one selected from SiC and AlN (where AlN is 10.0% or less); and 5.0-15.0% of at least one selected from MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO, and V2O5, wherein Fn calculated from equation (1) below is 0.02-0.40. This ceramic can be subjected to a highly efficient laser processing. Fn=(SiC＋3AlN)/(Si3N4＋ZrO2)・・・ (1)
Céramique contenant, en % en masse : 20,0 à 60,0 % de Si3N4 ; 25,0 à 70,0 % de ZrO2 ; 2,0 à 17,0 % d'au moins un élément choisi parmi SiC et AlN (AlN est inférieur ou égal à 10,0 %) ; et 5,0 à 15,0 % d'au moins un élément choisi parmi Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO et V2O5, Fn calculé à partir de l'équation (1) ci-dessous valant 0,02 à 0,40. Cette céramique peut être soumise à un traitement laser hautement efficace. Fn=(SiC＋3AlN)/(Si3N4＋ZrO2)・・・ (1)
質量％で、 Ｓｉ３Ｎ４：２０．０～６０．０％と、 ＺｒＯ２：２５．０～７０．０％と、 ＳｉＣおよびＡｌＮから選択される１種類以上：２．０～１７．０％（ただし、ＡｌＮは１０．０％以下）と、 ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＯ、ＨｆＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｏＯ3、ＣｒＯ、ＣｏＯ、ＺｎＯ、Ｇａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＮｉＯおよびＶ２Ｏ５から選択される１種類以上：５．０～１５．０％とを含有し、 下記（１）式から求められるＦｎが０．０２～０．４０である、 セラミックス。このセラミックスは、高効率なレーザ加工が可能である。 Ｆｎ＝（ＳｉＣ＋３ＡｌＮ）／（Ｓｉ３Ｎ４＋ＺｒＯ２）・・・（１）
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
CÉRAMIQUE, PIÈCE DE GUIDAGE DE SONDE, CARTE SONDE ET DOUILLE D'INSPECTION D'EMBALLAGE
セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット
YAMAGISHI WATARU (Autor:in) / MORI KAZUMASA (Autor:in) / ETO SHUNICHI (Autor:in)
14.10.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| Europäisches Patentamt | 2019
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| Europäisches Patentamt | 2021
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| Europäisches Patentamt | 2025
Ceramic, probe-guiding part, probe card and socket for inspecting package
| Europäisches Patentamt | 2020
Ceramic, probe guidance component, probe card, and package inspecting socket
| Europäisches Patentamt | 2020