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DIELECTRIC FOR ELECTROSTATIC CHUCK
The present invention provides a dielectric for an electrostatic chuck such that sufficient hardness can be ensured while also ensuring that the basic characteristics such as volume specific resistivity required of a dielectric for a Johnsen-Rahbek electrostatic chuck. A dielectric for an electrostatic chuck according to the present invention has a main crystal phase composed of corundum, and contains Al5BO9 as the other crystal phase, wherein the ratio IA/IB of the (021) plane peak intensity IA of Al5BO9, and the (012) plane peak intensity B of corundum is 0.04-0.4.
La présente invention concerne un diélectrique pour un mandrin électrostatique qui permet qu'une dureté suffisante soit assurée tout en garantissant également que les caractéristiques de base telles que la résistivité spécifique à un volume requise pour un diélectrique pour un mandrin électrostatique Johnsen-Rahbek. Un diélectrique pour un mandrin électrostatique selon la présente invention a une phase cristalline principale composée de corindon, et contient Al5BO9 en tant qu'autre phase cristalline, le rapport IA/IB de (021) l'intensité de pic de plan IA de Al5BO9, et de (012) l'intensité de pic de plan B du corindon est compris entre 0,04 et 0,4.
本発明は、ジョンセン・ラーベック型の静電チャック用誘電体に要求される体積固有抵抗率等の基本特性を確保しつつ、十分な硬度を確保できる静電チャック用誘電体を提供する。本発明の静電チャック用誘電体は、主結晶相がコランダムからなり、その他の結晶相としてＡｌ５ＢＯ９を含み、粉末Ｘ線回折によるＡｌ５ＢＯ９の（０２１面）ピーク強度：ＩＡとコランダムの（０１２面）ピーク強度：ＩＢとの比：ＩＡ／ＩＢが、０．０４以上０．４以下である。
DIELECTRIC FOR ELECTROSTATIC CHUCK
The present invention provides a dielectric for an electrostatic chuck such that sufficient hardness can be ensured while also ensuring that the basic characteristics such as volume specific resistivity required of a dielectric for a Johnsen-Rahbek electrostatic chuck. A dielectric for an electrostatic chuck according to the present invention has a main crystal phase composed of corundum, and contains Al5BO9 as the other crystal phase, wherein the ratio IA/IB of the (021) plane peak intensity IA of Al5BO9, and the (012) plane peak intensity B of corundum is 0.04-0.4.
La présente invention concerne un diélectrique pour un mandrin électrostatique qui permet qu'une dureté suffisante soit assurée tout en garantissant également que les caractéristiques de base telles que la résistivité spécifique à un volume requise pour un diélectrique pour un mandrin électrostatique Johnsen-Rahbek. Un diélectrique pour un mandrin électrostatique selon la présente invention a une phase cristalline principale composée de corindon, et contient Al5BO9 en tant qu'autre phase cristalline, le rapport IA/IB de (021) l'intensité de pic de plan IA de Al5BO9, et de (012) l'intensité de pic de plan B du corindon est compris entre 0,04 et 0,4.
本発明は、ジョンセン・ラーベック型の静電チャック用誘電体に要求される体積固有抵抗率等の基本特性を確保しつつ、十分な硬度を確保できる静電チャック用誘電体を提供する。本発明の静電チャック用誘電体は、主結晶相がコランダムからなり、その他の結晶相としてＡｌ５ＢＯ９を含み、粉末Ｘ線回折によるＡｌ５ＢＯ９の（０２１面）ピーク強度：ＩＡとコランダムの（０１２面）ピーク強度：ＩＢとの比：ＩＡ／ＩＢが、０．０４以上０．４以下である。
DIELECTRIC FOR ELECTROSTATIC CHUCK
DIÉLECTRIQUE POUR MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
静電チャック用誘電体
HATTORI KENSAKU (Autor:in)
02.12.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Electrostatic chuck dielectric layer and electrostatic chuck
Europäisches Patentamt | 2020
Dielectric layer for electrostatic chuck and electrostatic chuck
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ELECTROSTATIC CHUCK DIELECTRIC LAYER AND ELECTROSTATIC CHUCK INCLUDING THE SAME
| Europäisches Patentamt | 2023