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A sample holder 10 according to the present disclosure is provided with: an aluminum nitride substrate 1; and an internal electrode 2 that is provided on the aluminum nitride substrate 1. The aluminum nitride substrate 1 comprises: a plurality of aluminum nitride particles 11; and aluminum oxynitride particles 12 that are positioned in the grain boundary between the aluminum nitride particles 11. Titanium 13 is solid-solved in the aluminum oxynitride particles 12.
La présente invention concerne un porte-échantillon comprenant : un substrat de nitrure d'aluminium 1; et une électrode interne 2 qui est disposée sur le substrat de nitrure d'aluminium 1. Le substrat de nitrure d'aluminium 1 comprend : une pluralité de particules de nitrure d'aluminium 11; et des particules d'oxynitrure d'aluminium 12 qui sont positionnées dans la limite de grain entre les particules de nitrure d'aluminium 11. Du titane 13 est dissolu à l'état solide dans les particules d'oxynitrure d'aluminium 12.
本開示の試料保持具１０は、窒化アルミニウム基体１と、該窒化アルミニウム基体１に設けられた内部電極２と、を備えている。前記窒化アルミニウム基体１は、複数の窒化アルミニウム粒子１１および該窒化アルミニウム粒子１１同士の結晶粒界に位置する酸窒化アルミニウム粒子１２を有する。前記酸窒化アルミニウム粒子１２にはチタン１３が固溶している。
A sample holder 10 according to the present disclosure is provided with: an aluminum nitride substrate 1; and an internal electrode 2 that is provided on the aluminum nitride substrate 1. The aluminum nitride substrate 1 comprises: a plurality of aluminum nitride particles 11; and aluminum oxynitride particles 12 that are positioned in the grain boundary between the aluminum nitride particles 11. Titanium 13 is solid-solved in the aluminum oxynitride particles 12.
La présente invention concerne un porte-échantillon comprenant : un substrat de nitrure d'aluminium 1; et une électrode interne 2 qui est disposée sur le substrat de nitrure d'aluminium 1. Le substrat de nitrure d'aluminium 1 comprend : une pluralité de particules de nitrure d'aluminium 11; et des particules d'oxynitrure d'aluminium 12 qui sont positionnées dans la limite de grain entre les particules de nitrure d'aluminium 11. Du titane 13 est dissolu à l'état solide dans les particules d'oxynitrure d'aluminium 12.
本開示の試料保持具１０は、窒化アルミニウム基体１と、該窒化アルミニウム基体１に設けられた内部電極２と、を備えている。前記窒化アルミニウム基体１は、複数の窒化アルミニウム粒子１１および該窒化アルミニウム粒子１１同士の結晶粒界に位置する酸窒化アルミニウム粒子１２を有する。前記酸窒化アルミニウム粒子１２にはチタン１３が固溶している。
SAMPLE HOLDER
PORTE-ÉCHANTILLON
試料保持具
NARAZAKI YOSHINORI (Autor:in)
20.01.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
A Sample Holder for Determining Material Properties
| British Library Online Contents | 2000