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SINTERED YTTRIUM OXIDE BODY OF LARGE DIMENSION
Disclosed herein is a sintered yttrium oxide body having a total impurity level of 40 ppm or less, a density of not less than 4.93 g/cm3, wherein the sintered yttrium oxide body has at least one grain boundary comprising silica in an amount of not less than 1 to not greater than 10 atoms/nm2 wherein the sintered yttrium oxide body has at least one surface comprising at least one pore, wherein no pore is larger than 5 μm in diameter. A process for making the sintered yttrium oxide body is also disclosed.
La présente invention concerne un corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant un taux d'impureté total de 40 ppm ou moins, une masse volumique inférieure ou égale à 4,93 g/cm3, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins un joint de grain comprenant de la silice en une quantité de pas moins de 1 à pas plus de 10 atomes/nm2, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins une surface comprenant au moins un pore, aucun pore n'étant supérieur à 5 μm de diamètre. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication du corps d'oxyde d'yttrium fritté.
SINTERED YTTRIUM OXIDE BODY OF LARGE DIMENSION
Disclosed herein is a sintered yttrium oxide body having a total impurity level of 40 ppm or less, a density of not less than 4.93 g/cm3, wherein the sintered yttrium oxide body has at least one grain boundary comprising silica in an amount of not less than 1 to not greater than 10 atoms/nm2 wherein the sintered yttrium oxide body has at least one surface comprising at least one pore, wherein no pore is larger than 5 μm in diameter. A process for making the sintered yttrium oxide body is also disclosed.
La présente invention concerne un corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant un taux d'impureté total de 40 ppm ou moins, une masse volumique inférieure ou égale à 4,93 g/cm3, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins un joint de grain comprenant de la silice en une quantité de pas moins de 1 à pas plus de 10 atomes/nm2, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins une surface comprenant au moins un pore, aucun pore n'étant supérieur à 5 μm de diamètre. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication du corps d'oxyde d'yttrium fritté.
SINTERED YTTRIUM OXIDE BODY OF LARGE DIMENSION
CORPS D'OXYDE D'YTTRIUM FRITTÉ DE GRANDE DIMENSION
DONELON MATTHEW (Autor:in) / THOMPSON LILLIAN (Autor:in) / WALKER LUKE (Autor:in)
05.05.2022
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
YTTRIUM OXIDE-BASED SINTERED BODY AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2023
Yttrium oxide-based sintered body and semiconductor production system member
| Europäisches Patentamt | 2024
YTTRIUM OXIDE SINTERED BODY AND COMPONENTS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| Europäisches Patentamt | 2023