A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, dünnschichtiges piezoelektrisches Stellglied, dünnschichtiger piezoelektrischer Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker-Einrichtung
Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, umfassend ein Paar von Elektrodenschichten und eine piezoelektrische Dünnschicht, welche zwischen dem Paar von Elektrodenschichten eingebracht ist, wobei eine Flächenrauigkeit P-V einer Verbindungsfläche zwischen der piezoelektrischen Dünnschicht und wenigstens einer von dem Paar von Elektrodenschichten gleich 220 nm oder mehr und 500 nm oder weniger beträgt und wobei bei dem dünnschichtigen piezoelektrischen Element eine Flächenrauigkeit Ra der Verbindungsfläche gleich 90 nm oder mehr und 220 nm oder weniger beträgt, und die Flächenrauigkeit Ra größer ist als eine mittlere Kristallkorngröße von Kristallkörnern, welche die piezoelektrische Dünnschicht bilden.
An object is to increase the amount of displacement of a thin-film piezoelectric element including a piezoelectric thin film having an uneven-shaped contact surface with the planar shape and the layer structure of the thin-film piezoelectric element kept unchanged. The thin-film piezoelectric element includes a pair of electrode layers and a piezoelectric thin film sandwiched between the pair of electrode layers, in which a surface roughness P-V of an interface between the piezoelectric thin film and at least one of the pair of electrode layers is 220 nm or more and 500 nm or less.
Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, dünnschichtiges piezoelektrisches Stellglied, dünnschichtiger piezoelektrischer Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker-Einrichtung
Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, umfassend ein Paar von Elektrodenschichten und eine piezoelektrische Dünnschicht, welche zwischen dem Paar von Elektrodenschichten eingebracht ist, wobei eine Flächenrauigkeit P-V einer Verbindungsfläche zwischen der piezoelektrischen Dünnschicht und wenigstens einer von dem Paar von Elektrodenschichten gleich 220 nm oder mehr und 500 nm oder weniger beträgt und wobei bei dem dünnschichtigen piezoelektrischen Element eine Flächenrauigkeit Ra der Verbindungsfläche gleich 90 nm oder mehr und 220 nm oder weniger beträgt, und die Flächenrauigkeit Ra größer ist als eine mittlere Kristallkorngröße von Kristallkörnern, welche die piezoelektrische Dünnschicht bilden.
An object is to increase the amount of displacement of a thin-film piezoelectric element including a piezoelectric thin film having an uneven-shaped contact surface with the planar shape and the layer structure of the thin-film piezoelectric element kept unchanged. The thin-film piezoelectric element includes a pair of electrode layers and a piezoelectric thin film sandwiched between the pair of electrode layers, in which a surface roughness P-V of an interface between the piezoelectric thin film and at least one of the pair of electrode layers is 220 nm or more and 500 nm or less.
Dünnschichtiges piezoelektrisches Element, dünnschichtiges piezoelektrisches Stellglied, dünnschichtiger piezoelektrischer Sensor, Festplattenlaufwerk und Tintenstrahldrucker-Einrichtung
SAKUMA HITOSHI (author) / MAEJIMA KAZUHIKO (author)
2019-05-23
Patent
Electronic Resource
German
| European Patent Office | 2017
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