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Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors
Es ist ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors, der mindestens einen mittels mindestens einer Fügung (9) mit mindestens einem metallischen Körper (7) verbundenen keramischen Körper (5) umfasst, beschrieben, mit dem auf vergleichsweise einfache und kostengünstige Weise eine vergleichsweise hohe Druckfestigkeit und/oder Dichtheit der jeweiligen Fügung (9) erzielt werden kann, bei dem als metallischer Körper (7) ein Körper eingesetzt wird, der eine als aktive Komponente eines zum Aktivhartlöten des keramischen Körpers (5) geeigneten Aktivhartlots einsetzbare aktive Komponente umfasst, eine Anordnung erzeugt wird, die den keramischen Körper (5), den metallischen Körper (7) und ein Hartlot (13) umfasst, wobei das verwendete Hartlot (13) frei von zum Aktivhartlöten einsetzbaren aktiven Komponenten ist, und die Anordnung auf eine Fügetemperatur erwärmt wird, bei der das Hartlot (13) aufgeschmolzen wird, ein Anteil der im metallischen Körper (7) enthaltenen aktive Komponente durch das mit dem metallischen Körper (7) in Kontakt stehende und/oder in Kontakt gelangende, aufgeschmolzene Hartlot (13) hindurch zur Keramik des keramischen Körpers (5) diffundiert und dort derart mit der Keramik reagiert, dass sich eine die aktive Komponente umfassende chemische Verbindung ausbildet.
Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors
Es ist ein Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors, der mindestens einen mittels mindestens einer Fügung (9) mit mindestens einem metallischen Körper (7) verbundenen keramischen Körper (5) umfasst, beschrieben, mit dem auf vergleichsweise einfache und kostengünstige Weise eine vergleichsweise hohe Druckfestigkeit und/oder Dichtheit der jeweiligen Fügung (9) erzielt werden kann, bei dem als metallischer Körper (7) ein Körper eingesetzt wird, der eine als aktive Komponente eines zum Aktivhartlöten des keramischen Körpers (5) geeigneten Aktivhartlots einsetzbare aktive Komponente umfasst, eine Anordnung erzeugt wird, die den keramischen Körper (5), den metallischen Körper (7) und ein Hartlot (13) umfasst, wobei das verwendete Hartlot (13) frei von zum Aktivhartlöten einsetzbaren aktiven Komponenten ist, und die Anordnung auf eine Fügetemperatur erwärmt wird, bei der das Hartlot (13) aufgeschmolzen wird, ein Anteil der im metallischen Körper (7) enthaltenen aktive Komponente durch das mit dem metallischen Körper (7) in Kontakt stehende und/oder in Kontakt gelangende, aufgeschmolzene Hartlot (13) hindurch zur Keramik des keramischen Körpers (5) diffundiert und dort derart mit der Keramik reagiert, dass sich eine die aktive Komponente umfassende chemische Verbindung ausbildet.
Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors
ROSSBERG ANDREAS (author) / PONATH NILS (author) / SCHMIDT ELKE (author)
2019-10-17
Patent
Electronic Resource
German
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