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Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines siliziumkarbidhaltigen Werkstücks
Vorgesehen sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines siliziumkarbidhaltigen Werkstücks, bei denen:ein kohlenstoffhaltiges Formstück (2) in einem ersten Reaktor (1) bei einer ersten Temperatur gehalten wird, die die Transformation des Formstücks (2) in das siliziumkarbidhaltige Werkstück erlaubt,ein kohlenstoff- und siliziumhaltiger Präkursor in einen zweiten Reaktor (3) gefördert wird, der auf einer zweiten Temperatur gehalten wird, die höher als die erste Temperatur ist und die Umsetzung des Präkursors zu einem Si-C-haltigen Gas bewirkt, unddas Si-C-haltige Gas aus dem zweiten Reaktor (3) in den ersten Reaktor (1) zu dem im ersten Reaktor (1) bei der ersten Temperatur gehaltenen Formstück (2) geleitet und das Formstück (2) dabei in das siliziumkarbidhaltige Werkstück transformiert wird.
A method and a device are provided for producing a silicon carbide-comprising workpiece, wherein: a carbon-containing shaped piece (2) is held in a first reactor (1) at a first temperature permitting the transformation of the shaped piece (2) into the silicon carbide-comprising workpiece; a carbon- and silicon-containing precursor is conveyed into a second reactor (3), which is held at a second temperature, higher than the first temperature, and which converts the precursor into an Si-C-containing gas, and the Si-C-containing gas is guided out of the second reactor (3) into the first reactor (1) and to the shaped piece (2) held at the first temperature in the first reactor (1), the shaped piece (2) being transformed in this process into the silicon carbide-comprising workpiece.
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines siliziumkarbidhaltigen Werkstücks
Vorgesehen sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines siliziumkarbidhaltigen Werkstücks, bei denen:ein kohlenstoffhaltiges Formstück (2) in einem ersten Reaktor (1) bei einer ersten Temperatur gehalten wird, die die Transformation des Formstücks (2) in das siliziumkarbidhaltige Werkstück erlaubt,ein kohlenstoff- und siliziumhaltiger Präkursor in einen zweiten Reaktor (3) gefördert wird, der auf einer zweiten Temperatur gehalten wird, die höher als die erste Temperatur ist und die Umsetzung des Präkursors zu einem Si-C-haltigen Gas bewirkt, unddas Si-C-haltige Gas aus dem zweiten Reaktor (3) in den ersten Reaktor (1) zu dem im ersten Reaktor (1) bei der ersten Temperatur gehaltenen Formstück (2) geleitet und das Formstück (2) dabei in das siliziumkarbidhaltige Werkstück transformiert wird.
A method and a device are provided for producing a silicon carbide-comprising workpiece, wherein: a carbon-containing shaped piece (2) is held in a first reactor (1) at a first temperature permitting the transformation of the shaped piece (2) into the silicon carbide-comprising workpiece; a carbon- and silicon-containing precursor is conveyed into a second reactor (3), which is held at a second temperature, higher than the first temperature, and which converts the precursor into an Si-C-containing gas, and the Si-C-containing gas is guided out of the second reactor (3) into the first reactor (1) and to the shaped piece (2) held at the first temperature in the first reactor (1), the shaped piece (2) being transformed in this process into the silicon carbide-comprising workpiece.
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines siliziumkarbidhaltigen Werkstücks
GREULICH-WEBER SIEGMUND (author)
2023-08-03
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES SILIZIUMKARBIDHALTIGEN WERKSTÜCKS
European Patent Office | 2024
|Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Werkstücks
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