A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
SEMI-CONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND WAFER TRANSFER HOLDER
To provide a semi-conductive ceramic member and a holder for conveying a wafer.SOLUTION: A semi-conductive ceramic member made of alumina ceramics containing α-alumina and titanium oxide, in which Al is contained in an amount of 89 to 95% by mass in terms of Al2O3, and Ti is contained in an amount of 5 to 11% by mass in terms of TiO2. When the sum of the values of Al converted to Al2O3 and Ti converted to TiO2 is 100 parts by mass, at least one or more of Ca and Ce are contained in the sum of the values converted to CaO and CeO2 of 0.02 to 0.6 parts by mass for the 100 parts by mass. The member has a bulk density of 3.7 g/cm3 or more and a peak of TiOx (0
【課題】半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具を提供する。【解決手段】半導電性セラミック部材は、α−アルミナと、酸化チタンとを含有するアルミナ質セラミックスからなる。そして、ＡｌをＡｌ２Ｏ３に換算した値で８９〜９５質量％、ＴｉをＴｉＯ２に換算した値で５〜１１質量％含有する。また、ＡｌをＡｌ２Ｏ３に換算した値およびＴｉをＴｉＯ２に換算した値の合計を１００質量部としたとき、該１００質量部に対して、ＣａおよびＣｅの少なくとも１種以上をＣａＯおよびＣｅＯ２に換算した値の合計で０．０２〜０．６質量部含有する。また、かさ密度が３．７ｇ／ｃｍ３以上である。また、Ｘ線光電子分光による測定において、結合エネルギーが４５６〜４６２ｅＶの範囲にＴｉＯx（０＜ｘ＜２）のピークが存在する。また、表面において、明度指数Ｌ＊が４０以上６０以下であるとともに、ΔＬ＊が１以下である。【選択図】図１
SEMI-CONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND WAFER TRANSFER HOLDER
To provide a semi-conductive ceramic member and a holder for conveying a wafer.SOLUTION: A semi-conductive ceramic member made of alumina ceramics containing α-alumina and titanium oxide, in which Al is contained in an amount of 89 to 95% by mass in terms of Al2O3, and Ti is contained in an amount of 5 to 11% by mass in terms of TiO2. When the sum of the values of Al converted to Al2O3 and Ti converted to TiO2 is 100 parts by mass, at least one or more of Ca and Ce are contained in the sum of the values converted to CaO and CeO2 of 0.02 to 0.6 parts by mass for the 100 parts by mass. The member has a bulk density of 3.7 g/cm3 or more and a peak of TiOx (0
【課題】半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具を提供する。【解決手段】半導電性セラミック部材は、α−アルミナと、酸化チタンとを含有するアルミナ質セラミックスからなる。そして、ＡｌをＡｌ２Ｏ３に換算した値で８９〜９５質量％、ＴｉをＴｉＯ２に換算した値で５〜１１質量％含有する。また、ＡｌをＡｌ２Ｏ３に換算した値およびＴｉをＴｉＯ２に換算した値の合計を１００質量部としたとき、該１００質量部に対して、ＣａおよびＣｅの少なくとも１種以上をＣａＯおよびＣｅＯ２に換算した値の合計で０．０２〜０．６質量部含有する。また、かさ密度が３．７ｇ／ｃｍ３以上である。また、Ｘ線光電子分光による測定において、結合エネルギーが４５６〜４６２ｅＶの範囲にＴｉＯx（０＜ｘ＜２）のピークが存在する。また、表面において、明度指数Ｌ＊が４０以上６０以下であるとともに、ΔＬ＊が１以下である。【選択図】図１
SEMI-CONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND WAFER TRANSFER HOLDER
半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具
TATEYAMA TAIJI (author) / KOSAKA SHOJI (author)
2021-05-13
Patent
Electronic Resource
Japanese
SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
| European Patent Office | 2019
SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
| European Patent Office | 2018
CERAMIC MEMBER, PROBE HOLDER, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC MEMBER
| European Patent Office | 2018
Ceramic member, probe holder, and manufacturing method of ceramic member
| European Patent Office | 2016
CONDUCTIVE CERAMIC COMPOSITION, CONDUCTIVE MEMBER, AND CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT
| European Patent Office | 2017