A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
A semiconductive ceramic member according to this disclosure is composed of an alumina ceramic which contains α-alumina and titanium oxide. This semiconductive ceramic member contains 89-95% by mass of Al in terms of Al2O3 and 5-11% by mass of Ti in terms of TiO2. If the total of the Al amount in terms of Al2O3 and the Ti amount in terms of TiO2 is taken as 100 parts by mass, this semiconductive ceramic member contains 0.02-0.6 part by mass of Ca and Ce in total, respectively in terms of CaO and CeO2, relative to the 100 parts by mass. In addition, this semiconductive ceramic member has a bulk duty of 3.7 g/cm3 or more. This semiconductive ceramic member has a peak of TiOx (0 < x <2) within the binding energy range of 456-462 eV as determined by X-ray photoelectron spectroscopy. In addition, the surface of this semiconductive ceramic member has a lightness index L* of from 40 to 60 (inclusive) and a ∆L* of 1 or less.
Un élément céramique semi-conducteur selon la présente invention est composé d'une céramique d'alumine qui contient de l'α-alumine et de l'oxyde de titane. Cet élément céramique semi-conducteur contient 89 à 95 % en masse d'Al en termes d'Al2O3 et de 5 à 11 % en masse de Ti en termes de TiO2. Si le total de la quantité d'Al en termes d'Al2O3 et de la quantité de Ti en termes de TiO2 est considéré comme étant 100 parties en masse, cet élément céramique semi-conducteur contient 0,02 à 0,6 partie en masse de Ca et Ce au total, respectivement en termes de CaO et CeO2, par rapport aux 100 parties en masse. De plus, cet élément céramique semi-conducteur a une masse volumique apparente de 3,7 g/cm3 ou plus. Cet élément céramique semi-conducteur a un pic de TiOx (0 < x < 2) dans la plage d'énergie de liaison de 456 à 462 eV tel que déterminé par spectroscopie photoélectronique à rayons X. De plus, la surface de cet élément céramique semi-conducteur a un indice de clarté L* de 40 à 60 (inclus) et un ∆L* de 1 ou moins.
本開示の半導電性セラミック部材は、α－アルミナと、酸化チタンとを含有するアルミナ質セラミックスからなる。そして、ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算した値で８９～９５質量％、ＴｉをＴｉＯ2に換算した値で５～１１質量％含有する。また、ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算した値およびＴｉをＴｉＯ2に換算した値の合計を１００質量部としたとき、該１００質量部に対して、ＣａおよびＣｅをそれぞれＣａＯおよびＣｅＯ2に換算した値の合計で０．０２～０．６質量部含有する。また、かさ密度が３．７ｇ／ｃｍ3以上である。また、Ｘ線光電子分光による測定において、結合エネルギーが４５６～４６２ｅＶの範囲にＴｉＯx（０＜ｘ＜２）のピークが存在する。また、表面において、明度指数Ｌ＊が４０以上６０以下であるとともに、ΔＬ＊が１以下である。
SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
A semiconductive ceramic member according to this disclosure is composed of an alumina ceramic which contains α-alumina and titanium oxide. This semiconductive ceramic member contains 89-95% by mass of Al in terms of Al2O3 and 5-11% by mass of Ti in terms of TiO2. If the total of the Al amount in terms of Al2O3 and the Ti amount in terms of TiO2 is taken as 100 parts by mass, this semiconductive ceramic member contains 0.02-0.6 part by mass of Ca and Ce in total, respectively in terms of CaO and CeO2, relative to the 100 parts by mass. In addition, this semiconductive ceramic member has a bulk duty of 3.7 g/cm3 or more. This semiconductive ceramic member has a peak of TiOx (0 < x <2) within the binding energy range of 456-462 eV as determined by X-ray photoelectron spectroscopy. In addition, the surface of this semiconductive ceramic member has a lightness index L* of from 40 to 60 (inclusive) and a ∆L* of 1 or less.
Un élément céramique semi-conducteur selon la présente invention est composé d'une céramique d'alumine qui contient de l'α-alumine et de l'oxyde de titane. Cet élément céramique semi-conducteur contient 89 à 95 % en masse d'Al en termes d'Al2O3 et de 5 à 11 % en masse de Ti en termes de TiO2. Si le total de la quantité d'Al en termes d'Al2O3 et de la quantité de Ti en termes de TiO2 est considéré comme étant 100 parties en masse, cet élément céramique semi-conducteur contient 0,02 à 0,6 partie en masse de Ca et Ce au total, respectivement en termes de CaO et CeO2, par rapport aux 100 parties en masse. De plus, cet élément céramique semi-conducteur a une masse volumique apparente de 3,7 g/cm3 ou plus. Cet élément céramique semi-conducteur a un pic de TiOx (0 < x < 2) dans la plage d'énergie de liaison de 456 à 462 eV tel que déterminé par spectroscopie photoélectronique à rayons X. De plus, la surface de cet élément céramique semi-conducteur a un indice de clarté L* de 40 à 60 (inclus) et un ∆L* de 1 ou moins.
本開示の半導電性セラミック部材は、α－アルミナと、酸化チタンとを含有するアルミナ質セラミックスからなる。そして、ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算した値で８９～９５質量％、ＴｉをＴｉＯ2に換算した値で５～１１質量％含有する。また、ＡｌをＡｌ2Ｏ3に換算した値およびＴｉをＴｉＯ2に換算した値の合計を１００質量部としたとき、該１００質量部に対して、ＣａおよびＣｅをそれぞれＣａＯおよびＣｅＯ2に換算した値の合計で０．０２～０．６質量部含有する。また、かさ密度が３．７ｇ／ｃｍ3以上である。また、Ｘ線光電子分光による測定において、結合エネルギーが４５６～４６２ｅＶの範囲にＴｉＯx（０＜ｘ＜２）のピークが存在する。また、表面において、明度指数Ｌ＊が４０以上６０以下であるとともに、ΔＬ＊が１以下である。
SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
ÉLÉMENT CÉRAMIQUE SEMI-CONDUCTEUR ET SUPPORT POUR TRANSPORT DE PLAQUETTE
半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具
TATEYAMA YASUHARU (author) / KOHSAKA SHOJI (author)
2018-08-02
Patent
Electronic Resource
Japanese
SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
| European Patent Office | 2019
SEMI-CONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND WAFER TRANSFER HOLDER
| European Patent Office | 2021