A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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スパッタリングターゲット
インジウム元素（Ｉｎ）、亜鉛元素（Ｚｎ）及びアルミニウム元素（Ａｌ）を含有する酸化物を含み、ＺｎＡｌ２Ｏ４で表わされるスピネル構造化合物を含むスパッタリングターゲット。
A sputtering target including an oxide containing elemental indium (In), elemental zinc (Zn), and elemental aluminum (Al) and including a spinel-structure compound represented by ZnAl2O4.
スパッタリングターゲット
インジウム元素（Ｉｎ）、亜鉛元素（Ｚｎ）及びアルミニウム元素（Ａｌ）を含有する酸化物を含み、ＺｎＡｌ２Ｏ４で表わされるスピネル構造化合物を含むスパッタリングターゲット。
A sputtering target including an oxide containing elemental indium (In), elemental zinc (Zn), and elemental aluminum (Al) and including a spinel-structure compound represented by ZnAl2O4.