A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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180 W/mk 230 W/mk Memufacturing method of conductivity AlN subtrate having thermal conductivity of 180 W/mk to 230 W/mk
본 발명은 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 질화알루미늄 원료를 소성하여 질화알루미늄 100 중량부에 대하여 0.1 내지 1 중량부의 산소를 포함하는 질화알루미늄 분체를 제조하는 질화알루미늄 분체 제조단계와, 분산제를 포함하는 용매에 상기 질화알루미늄 분체와 소결조제가 혼합된 혼합분체과, 볼체 및 바인더를 투입하고 이를 교반하여 슬러리를 제조하는 슬러리 제조단계와, 제조된 상기 슬러리를 박막형상으로 성형하고, 이를 건조하여 그린시트를 제조하는 그린시트 제조단계 및 성형된 상기 그린시트를 미리 설정된 크기로 재단하여 기판을 제조하는 기판 제조단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법을 제공한다.상기와 같은 본 발명에 따르면, 입경이 균일하고 산소 함유율이 적은 질화알루미늄 분체를 제공함과 제공된 질화알루미튬 분체에 입경이 서브마이크론인 소결조제를 첨가함으로써 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는이 매우 우수하고, 성형밀도가 높고 균일한 효과가 있다.
180 W/mk 230 W/mk Memufacturing method of conductivity AlN subtrate having thermal conductivity of 180 W/mk to 230 W/mk
본 발명은 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 질화알루미늄 원료를 소성하여 질화알루미늄 100 중량부에 대하여 0.1 내지 1 중량부의 산소를 포함하는 질화알루미늄 분체를 제조하는 질화알루미늄 분체 제조단계와, 분산제를 포함하는 용매에 상기 질화알루미늄 분체와 소결조제가 혼합된 혼합분체과, 볼체 및 바인더를 투입하고 이를 교반하여 슬러리를 제조하는 슬러리 제조단계와, 제조된 상기 슬러리를 박막형상으로 성형하고, 이를 건조하여 그린시트를 제조하는 그린시트 제조단계 및 성형된 상기 그린시트를 미리 설정된 크기로 재단하여 기판을 제조하는 기판 제조단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법을 제공한다.상기와 같은 본 발명에 따르면, 입경이 균일하고 산소 함유율이 적은 질화알루미늄 분체를 제공함과 제공된 질화알루미튬 분체에 입경이 서브마이크론인 소결조제를 첨가함으로써 180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는이 매우 우수하고, 성형밀도가 높고 균일한 효과가 있다.
180 W/mk 230 W/mk Memufacturing method of conductivity AlN subtrate having thermal conductivity of 180 W/mk to 230 W/mk
180 W/mk 내지 230 W/mk의 열전도성을 갖는 질화알루미늄 기판의 제조방법
2020-07-30
Patent
Electronic Resource
Korean
Memufacturing method of High thermal conductivity AlN subtrate
| European Patent Office | 2020