A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
A ceramic member for semiconductor exposure equipment according to the present invention is made of Al_2O_3 as a main component, includes powdered Co_2O_3 as a colorant input in a raw material step, and further comprises at least one additional colorant selected from powdered TiO_2, Fe_2O_3, MnO_2, and ZnO. The additional colorant is to be 168 to 323 parts by weight based on 100 parts by weight of Co_2O_3. Therefore, it is possible to provide a ceramic member for exposure equipment, capable of being manufactured into alumina ceramics with excellent physical properties such as abrasion resistance and chemical resistance when manufactured as a chuck for holding and fixing a substrate in a semiconductor process and increasing the precision of pattern transfer by preventing flare noise, etc. caused by light reflection in an exposure process.
본 발명에 따른 반도체 노광장비용 세라믹 부재는, Al2O3를 주요 성분으로 제조되며, 원료단계에서 투입되는 착색제로서 분말상 Co2O3를 포함함과 동시에, 분말상의 TiO2, Fe2O3, MnO2, 및 ZnO에서 선택된 적어도 1 이상의 추가 착색제를 더욱 포함하며, 상기 Co2O3 100중량부에 대해 상기 추가 착색제는 168 내지 323중량부가 되도록 구성되어, 반도체 공정에서 기판을 유지, 고정하기 위한 척으로서 제조될 경우 내마모성, 내화학성 등 물성이 매우 우수한 알루미나 세라믹으로 제조되면서도, 노광 공정에 있어 빛 반사에 의한 플레어 노이즈 등을 방지하여 패턴 전사의 정밀도를 높일 수 있는 노광장비용 세라믹 부재를 제공할 수 있다.
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
A ceramic member for semiconductor exposure equipment according to the present invention is made of Al_2O_3 as a main component, includes powdered Co_2O_3 as a colorant input in a raw material step, and further comprises at least one additional colorant selected from powdered TiO_2, Fe_2O_3, MnO_2, and ZnO. The additional colorant is to be 168 to 323 parts by weight based on 100 parts by weight of Co_2O_3. Therefore, it is possible to provide a ceramic member for exposure equipment, capable of being manufactured into alumina ceramics with excellent physical properties such as abrasion resistance and chemical resistance when manufactured as a chuck for holding and fixing a substrate in a semiconductor process and increasing the precision of pattern transfer by preventing flare noise, etc. caused by light reflection in an exposure process.
본 발명에 따른 반도체 노광장비용 세라믹 부재는, Al2O3를 주요 성분으로 제조되며, 원료단계에서 투입되는 착색제로서 분말상 Co2O3를 포함함과 동시에, 분말상의 TiO2, Fe2O3, MnO2, 및 ZnO에서 선택된 적어도 1 이상의 추가 착색제를 더욱 포함하며, 상기 Co2O3 100중량부에 대해 상기 추가 착색제는 168 내지 323중량부가 되도록 구성되어, 반도체 공정에서 기판을 유지, 고정하기 위한 척으로서 제조될 경우 내마모성, 내화학성 등 물성이 매우 우수한 알루미나 세라믹으로 제조되면서도, 노광 공정에 있어 빛 반사에 의한 플레어 노이즈 등을 방지하여 패턴 전사의 정밀도를 높일 수 있는 노광장비용 세라믹 부재를 제공할 수 있다.
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
반도체 노광 장비용 세라믹 부재 및 동 부재의 제조방법
YUNE TAE GYU (author)
2021-07-21
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
G03F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
,
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2024
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
| European Patent Office | 2022
European Patent Office | 2018