A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
A ceramic member for semiconductor exposure equipment according to the present invention is manufactured by using Al 2O 3 as a main component, comprises powdered Co 2O3 as a coloring agent input in a raw material stage, and further comprises at least one additional coloring agent selected from powdered TiO 2, Fe 2O 3, MnO 2, and ZnO, wherein the additional coloring agent is 168 to 323 parts by weight with respect to 100 parts by weight of Co 2O 3. Therefore, the ceramic member for semiconductor exposure equipment can be provided that, when manufactured as a chuck for holding and fixing a substrate in a semiconductor process, can be made of alumina ceramic having very excellent physical properties, such as abrasion resistance and chemical resistance, and can increase the precision of pattern transfer by preventing flare noise caused by light reflection during an exposure process.
Un élément céramique d'un équipement d'exposition de semi-conducteurs selon la présente invention est fabriqué en utilisant de l'Al 2O 3 comme constituant principal, comprend du Co 2O3 en poudre en tant qu'entrée d'agent colorant dans une étape de matière première, et comprend en outre au moins un agent colorant supplémentaire choisi parmi le TiO2, Fe 2O 3, MnO 2, et ZnO en poudre, l'agent colorant supplémentaire étant de 168 à 323 parties en poids par rapport à 100 parties en poids de Co 2O 3. Par conséquent, il peut être prévu que lorsqu'il est fabriqué en tant que mandrin pour maintenir et fixer un substrat dans un traitement de semi-conducteurs, l'élément céramique de l'équipement d'exposition de semi-conducteurs peut être fabriqué en céramique d'alumine ayant d'excellentes propriétés physiques, telle qu'une résistance à l'abrasion et une résistance chimique, et peut augmenter la précision du transfert de motif en empêchant le bruit de torche provoqué par la réflexion de la lumière pendant un processus d'exposition.
본 발명에 따른 반도체 노광장비용 세라믹 부재는, Al 2O 3를 주요 성분으로 제조되며, 원료단계에서 투입되는 착색제로서 분말상 Co 2O 3를 포함함과 동시에, 분말상의 TiO 2, Fe 2O 3, MnO 2, 및 ZnO에서 선택된 적어도 1 이상의 추가 착색제를 더욱 포함하며, 상기 Co 2O 3 100중량부에 대해 상기 추가 착색제는 168 내지 323중량부가 되도록 구성되어, 반도체 공정에서 기판을 유지, 고정하기 위한 척으로서 제조될 경우 내마모성, 내화학성 등 물성이 매우 우수한 알루미나 세라믹으로 제조되면서도, 노광 공정에 있어 빛 반사에 의한 플레어 노이즈 등을 방지하여 패턴 전사의 정밀도를 높일 수 있는 노광장비용 세라믹 부재를 제공할 수 있다.
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
A ceramic member for semiconductor exposure equipment according to the present invention is manufactured by using Al 2O 3 as a main component, comprises powdered Co 2O3 as a coloring agent input in a raw material stage, and further comprises at least one additional coloring agent selected from powdered TiO 2, Fe 2O 3, MnO 2, and ZnO, wherein the additional coloring agent is 168 to 323 parts by weight with respect to 100 parts by weight of Co 2O 3. Therefore, the ceramic member for semiconductor exposure equipment can be provided that, when manufactured as a chuck for holding and fixing a substrate in a semiconductor process, can be made of alumina ceramic having very excellent physical properties, such as abrasion resistance and chemical resistance, and can increase the precision of pattern transfer by preventing flare noise caused by light reflection during an exposure process.
Un élément céramique d'un équipement d'exposition de semi-conducteurs selon la présente invention est fabriqué en utilisant de l'Al 2O 3 comme constituant principal, comprend du Co 2O3 en poudre en tant qu'entrée d'agent colorant dans une étape de matière première, et comprend en outre au moins un agent colorant supplémentaire choisi parmi le TiO2, Fe 2O 3, MnO 2, et ZnO en poudre, l'agent colorant supplémentaire étant de 168 à 323 parties en poids par rapport à 100 parties en poids de Co 2O 3. Par conséquent, il peut être prévu que lorsqu'il est fabriqué en tant que mandrin pour maintenir et fixer un substrat dans un traitement de semi-conducteurs, l'élément céramique de l'équipement d'exposition de semi-conducteurs peut être fabriqué en céramique d'alumine ayant d'excellentes propriétés physiques, telle qu'une résistance à l'abrasion et une résistance chimique, et peut augmenter la précision du transfert de motif en empêchant le bruit de torche provoqué par la réflexion de la lumière pendant un processus d'exposition.
본 발명에 따른 반도체 노광장비용 세라믹 부재는, Al 2O 3를 주요 성분으로 제조되며, 원료단계에서 투입되는 착색제로서 분말상 Co 2O 3를 포함함과 동시에, 분말상의 TiO 2, Fe 2O 3, MnO 2, 및 ZnO에서 선택된 적어도 1 이상의 추가 착색제를 더욱 포함하며, 상기 Co 2O 3 100중량부에 대해 상기 추가 착색제는 168 내지 323중량부가 되도록 구성되어, 반도체 공정에서 기판을 유지, 고정하기 위한 척으로서 제조될 경우 내마모성, 내화학성 등 물성이 매우 우수한 알루미나 세라믹으로 제조되면서도, 노광 공정에 있어 빛 반사에 의한 플레어 노이즈 등을 방지하여 패턴 전사의 정밀도를 높일 수 있는 노광장비용 세라믹 부재를 제공할 수 있다.
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
ÉLÉMENT CÉRAMIQUE D'UN ÉQUIPEMENT D'EXPOSITION DE SEMI-CONDUCTEURS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
반도체 노광 장비용 세라믹 부재 및 동 부재의 제조방법
YUNE TAE GYU (author)
2022-03-17
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
G03F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
,
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
CERAMIC MEMBER FOR SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| European Patent Office | 2021
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2017