A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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COMPOSITE SINTERED BODY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND METHOD OF PRODUCING COMPOSITE SINTERED BODY
복합 소결체(20)는, Al2O3을 주재료로 하는 기재와, 상기 기재의 내부 또는 표면에 배치되는 전극(23)을 구비한다. 전극(23)은, Ru와, ZrO2와, Al2O3을 포함한다. 이것에 의해, 전극(23) 중에서의 ZrO2의 편재를 억제할 수 있다. 그 결과, 상기 편재의 영향에 의한 전극(23)과 기재의 열팽창계수의 차에 기인하는 기재의 크랙이나 전극(23)의 박리를 억제할 수 있다.
A composite sintered body includes a base material that contains Al2O3 as a main component, and an electrode arranged inside or on a surface of the base material. The electrode contains Ru, ZrO2, and Al2O3.
COMPOSITE SINTERED BODY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND METHOD OF PRODUCING COMPOSITE SINTERED BODY
복합 소결체(20)는, Al2O3을 주재료로 하는 기재와, 상기 기재의 내부 또는 표면에 배치되는 전극(23)을 구비한다. 전극(23)은, Ru와, ZrO2와, Al2O3을 포함한다. 이것에 의해, 전극(23) 중에서의 ZrO2의 편재를 억제할 수 있다. 그 결과, 상기 편재의 영향에 의한 전극(23)과 기재의 열팽창계수의 차에 기인하는 기재의 크랙이나 전극(23)의 박리를 억제할 수 있다.
A composite sintered body includes a base material that contains Al2O3 as a main component, and an electrode arranged inside or on a surface of the base material. The electrode contains Ru, ZrO2, and Al2O3.
COMPOSITE SINTERED BODY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND METHOD OF PRODUCING COMPOSITE SINTERED BODY
복합 소결체, 반도체 제조 장치 부재 및 복합 소결체의 제조 방법
2024-04-05
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H05B
ELECTRIC HEATING
,
Elektrische Heizung
| European Patent Office | 2024
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