A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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COMPOSITE SINTERED BODY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND METHOD OF PRODUCING COMPOSITE SINTERED BODY
복합 소결체(20)는, 세라믹을 주재료로 하는 기재와, 상기 기재의 내부 또는 표면에 배치되는 전극(23)을 구비한다. 전극(23)은, W와, ZrO2를 포함한다. 이에 의해, 전극(23)과 기재의 열팽창 계수의 차를 작게 할 수 있다. 그 결과, 전극(23)과 기재의 열팽창 계수의 차에 기인하는 기재의 크랙이나 전극(23)의 박리를 억제할 수 있다. 또한, 복합 소결체(20)에서는, 전극(23)의 저항률의 증대를 억제할 수도 있다. 그 결과, 전극(23)에 의한 발열량을 정밀도 좋게 제어할 수 있다.
A composite sintered body includes a base material that includes ceramic as a main component, and an electrode arranged inside the base material or on a surface of the base material. The electrode contains W and ZrO2.
COMPOSITE SINTERED BODY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND METHOD OF PRODUCING COMPOSITE SINTERED BODY
복합 소결체(20)는, 세라믹을 주재료로 하는 기재와, 상기 기재의 내부 또는 표면에 배치되는 전극(23)을 구비한다. 전극(23)은, W와, ZrO2를 포함한다. 이에 의해, 전극(23)과 기재의 열팽창 계수의 차를 작게 할 수 있다. 그 결과, 전극(23)과 기재의 열팽창 계수의 차에 기인하는 기재의 크랙이나 전극(23)의 박리를 억제할 수 있다. 또한, 복합 소결체(20)에서는, 전극(23)의 저항률의 증대를 억제할 수도 있다. 그 결과, 전극(23)에 의한 발열량을 정밀도 좋게 제어할 수 있다.
A composite sintered body includes a base material that includes ceramic as a main component, and an electrode arranged inside the base material or on a surface of the base material. The electrode contains W and ZrO2.
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복합 소결체, 반도체 제조 장치 부재 및 복합 소결체의 제조 방법
2022-03-22
Patent
Electronic Resource
Korean
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