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THIN-FILM CERAMIC CAPACITOR
본 발명의 일 실시형태는 기판 상에 복수의 유전체층과 제1 및 제2 전극층이 번갈아 배치된 바디 및 상기 바디의 외측에 배치된 제1 및 제2 전극 패드를 포함하며, 상기 유전체층은 강유전체 특성을 갖는 페롭스카이트(Perovskite) 상과 상유전체 특성을 갖는 파이로클로(Pyrochlore) 상의 혼합상을 포함하며, 상기 파이로클로(Pyrochlore) 상은 유전체층과 상기 제1 및 제2 전극층의 계면에 배치되되, 유전체층의 하부에 배치된 박막 커패시터를 제공한다.
A thin-film ceramic capacitor includes: a body in which a plurality of dielectric layers and first and second electrode layers are alternately disposed on a substrate; and first and second electrode pads disposed on an external surface of the body. The dielectric layer contains a mixed phase of a perovskite phase having ferroelectric properties and a pyrochlore phase having paraelectric properties, the pyrochlore phase being disposed on interfaces between the dielectric layers and the first and second electrode layers in lower portions of the dielectric layers.
THIN-FILM CERAMIC CAPACITOR
본 발명의 일 실시형태는 기판 상에 복수의 유전체층과 제1 및 제2 전극층이 번갈아 배치된 바디 및 상기 바디의 외측에 배치된 제1 및 제2 전극 패드를 포함하며, 상기 유전체층은 강유전체 특성을 갖는 페롭스카이트(Perovskite) 상과 상유전체 특성을 갖는 파이로클로(Pyrochlore) 상의 혼합상을 포함하며, 상기 파이로클로(Pyrochlore) 상은 유전체층과 상기 제1 및 제2 전극층의 계면에 배치되되, 유전체층의 하부에 배치된 박막 커패시터를 제공한다.
A thin-film ceramic capacitor includes: a body in which a plurality of dielectric layers and first and second electrode layers are alternately disposed on a substrate; and first and second electrode pads disposed on an external surface of the body. The dielectric layer contains a mixed phase of a perovskite phase having ferroelectric properties and a pyrochlore phase having paraelectric properties, the pyrochlore phase being disposed on interfaces between the dielectric layers and the first and second electrode layers in lower portions of the dielectric layers.