A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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THIN-FILM CERAMIC CAPACITOR
One embodiment of the present invention provides a high capacity thin film capacitor stable to a temperature change. The thin film capacitor includes a plurality of dielectric layers on a substrate, a body in which first and second electrode layers are alternately disposed, and first and second electrode pads disposed outside the body. The dielectric layer includes a mixed phase of a perovskite phase having ferroelectric characteristics and a pyrochlore phase having paraelectric characteristics. The pyrochlore phase disposed at an interface between the dielectric layer and the first and second electrode layers and disposed below the dielectric layer.
본 발명의 일 실시형태는 기판 상에 복수의 유전체층과 제1 및 제2 전극층이 번갈아 배치된 바디 및 상기 바디의 외측에 배치된 제1 및 제2 전극 패드를 포함하며, 상기 유전체층은 강유전체 특성을 갖는 페롭스카이트(Perovskite) 상과 상유전체 특성을 갖는 파이로클로(Pyrochlore) 상의 혼합상을 포함하며, 상기 파이로클로(Pyrochlore) 상은 유전체층과 상기 제1 및 제2 전극층의 계면에 배치되되, 유전체층의 하부에 배치된 박막 커패시터를 제공한다.
THIN-FILM CERAMIC CAPACITOR
One embodiment of the present invention provides a high capacity thin film capacitor stable to a temperature change. The thin film capacitor includes a plurality of dielectric layers on a substrate, a body in which first and second electrode layers are alternately disposed, and first and second electrode pads disposed outside the body. The dielectric layer includes a mixed phase of a perovskite phase having ferroelectric characteristics and a pyrochlore phase having paraelectric characteristics. The pyrochlore phase disposed at an interface between the dielectric layer and the first and second electrode layers and disposed below the dielectric layer.
본 발명의 일 실시형태는 기판 상에 복수의 유전체층과 제1 및 제2 전극층이 번갈아 배치된 바디 및 상기 바디의 외측에 배치된 제1 및 제2 전극 패드를 포함하며, 상기 유전체층은 강유전체 특성을 갖는 페롭스카이트(Perovskite) 상과 상유전체 특성을 갖는 파이로클로(Pyrochlore) 상의 혼합상을 포함하며, 상기 파이로클로(Pyrochlore) 상은 유전체층과 상기 제1 및 제2 전극층의 계면에 배치되되, 유전체층의 하부에 배치된 박막 커패시터를 제공한다.
THIN-FILM CERAMIC CAPACITOR
박막 커패시터
KANG YUN SUNG (author) / LEE HAI JOON (author) / PARK TAE JOON (author) / OH DONG JOON (author) / KIM YUN HEE (author) / LEE KYO YEOL (author) / LIM SEUNG MO (author) / KANG IN YOUNG (author)
2018-05-31
Patent
Electronic Resource
Korean