A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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METHOD OF COATING SILICA CRUCIBLES WITH SILICON NITRIDE
The present invention relates to a method to coat the inner wall of a silica crucible with silicon nitride, capable of preventing a side reaction between silicon and silica when polysilicon is synthesized in the silica crucible. According to the present invention, the method comprises: a step of coating carbon, which is generated by incompletely combusting a hydrocarbon compound in the presence of oxygen, on the inner wall of the silica crucible; a step of coating the inner wall of the silica crucible with silicon nitride while reacting the carbon coated on the inner wall of the silicon crucible with silica and nitrogen included in the inner wall of silicon crucible by reaction formula, SiO_2 + C + N_2 → Si_3N_4 + CO_2, to generate silicon nitride, so as to form a silicon nitride coating layer; and a step of performing heat treatment in an oxidizing atmosphere to react the carbon coated and remaining on the inner wall of the silicon crucible with oxygen to generate carbon dioxide so as to remove the carbon.
실리카 도가니 내에서, 탄화수소 화합물을 산소 존재 하에서 불완전 연소시켜 생성된 탄소가 상기 실리카 도가니의 내벽을 코팅하는 단계; 질소 분위기에서 열처리하여 상기 실리카 도가니의 내벽에 코팅된 탄소, 실리카 도가니의 내벽에 포함된 실리카 및 질소가 하기 반응식 1에 의해 반응하여 질화규소가 생성되면서, 상기 실리카 도가니 내벽이 상기 질화규소로 코팅되어 질화규소 코팅층을 형성하는 단계; 및 산화성 분위기 하에서 열처리하여 상기 실리카 내벽에 코팅되어 잔류하는 탄소를 산소와 반응시켜 이산화탄소를 생성함으로써 제거하는 단계;를 포함하는 실리카 도가니 내벽에 질화규소를 코팅하는 방법을 제공한다. [반응식 1] SiO+ C + N→ SiN+ CO
METHOD OF COATING SILICA CRUCIBLES WITH SILICON NITRIDE
The present invention relates to a method to coat the inner wall of a silica crucible with silicon nitride, capable of preventing a side reaction between silicon and silica when polysilicon is synthesized in the silica crucible. According to the present invention, the method comprises: a step of coating carbon, which is generated by incompletely combusting a hydrocarbon compound in the presence of oxygen, on the inner wall of the silica crucible; a step of coating the inner wall of the silica crucible with silicon nitride while reacting the carbon coated on the inner wall of the silicon crucible with silica and nitrogen included in the inner wall of silicon crucible by reaction formula, SiO_2 + C + N_2 → Si_3N_4 + CO_2, to generate silicon nitride, so as to form a silicon nitride coating layer; and a step of performing heat treatment in an oxidizing atmosphere to react the carbon coated and remaining on the inner wall of the silicon crucible with oxygen to generate carbon dioxide so as to remove the carbon.
실리카 도가니 내에서, 탄화수소 화합물을 산소 존재 하에서 불완전 연소시켜 생성된 탄소가 상기 실리카 도가니의 내벽을 코팅하는 단계; 질소 분위기에서 열처리하여 상기 실리카 도가니의 내벽에 코팅된 탄소, 실리카 도가니의 내벽에 포함된 실리카 및 질소가 하기 반응식 1에 의해 반응하여 질화규소가 생성되면서, 상기 실리카 도가니 내벽이 상기 질화규소로 코팅되어 질화규소 코팅층을 형성하는 단계; 및 산화성 분위기 하에서 열처리하여 상기 실리카 내벽에 코팅되어 잔류하는 탄소를 산소와 반응시켜 이산화탄소를 생성함으로써 제거하는 단계;를 포함하는 실리카 도가니 내벽에 질화규소를 코팅하는 방법을 제공한다. [반응식 1] SiO+ C + N→ SiN+ CO
METHOD OF COATING SILICA CRUCIBLES WITH SILICON NITRIDE
실리카 도가니 내벽에 질화규소를 코팅하는 방법
CHUNG YONG KWON (author) / KOO JAE HONG (author) / KIM SHIN A (author) / CHO NAM TAE (author) / JEE EUN OK (author)
2018-07-09
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
F27D
Einzelheiten oder Zubehör für Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen oder Retorten, soweit sie nicht auf eine Ofenart eingeschränkt sind
,
DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
F27B
Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen, Retorten allgemein
,
FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL
Corrosion Beha vior in Molten Aluminium of Silicon Nitride Crucibles
| British Library Online Contents | 2003
Silicon melt convection in large size Czochralski crucibles
| British Library Online Contents | 2002