A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
A ceramic mixture paste comprises oxide ceramic particles, combustion disappearance particles, and a calcination agent. The combustion disappearance particles are burned off at a temperature lower than a firing temperature of the oxide ceramic particles. The calcination agent is melted at a temperature lower than the firing temperature. A volumetric ratio of the volume of the combustion disappearance particles to the volume of the oxide ceramic particles is greater than 0% and not more than 20%.
세라믹 혼합물 페이스트는 산화물 세라믹 입자들, 연소 소실 입자들, 및 소성 조제를 포함한다. 상기 연소 소실 입자들은 상기 산화물 세라믹 입자들의 소성 온도보다 낮은 온도에서 연소 소실된다. 상기 소성 조제는 상기 소성 온도보다 낮은 온도에서 용융된다. 상기 산화물 세라믹 입자들의 체적에 대한 상기 연소 소실 입자들의 체적 비율은 0%보다 크고 20% 이하이다.
CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
A ceramic mixture paste comprises oxide ceramic particles, combustion disappearance particles, and a calcination agent. The combustion disappearance particles are burned off at a temperature lower than a firing temperature of the oxide ceramic particles. The calcination agent is melted at a temperature lower than the firing temperature. A volumetric ratio of the volume of the combustion disappearance particles to the volume of the oxide ceramic particles is greater than 0% and not more than 20%.
세라믹 혼합물 페이스트는 산화물 세라믹 입자들, 연소 소실 입자들, 및 소성 조제를 포함한다. 상기 연소 소실 입자들은 상기 산화물 세라믹 입자들의 소성 온도보다 낮은 온도에서 연소 소실된다. 상기 소성 조제는 상기 소성 온도보다 낮은 온도에서 용융된다. 상기 산화물 세라믹 입자들의 체적에 대한 상기 연소 소실 입자들의 체적 비율은 0%보다 크고 20% 이하이다.
CERAMIC MIXTURE PASTE POROUS BODY AND METHOD OF MANUFACTURING SAME ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MANUFACTURING SAME AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
세라믹 혼합물 페이스트, 다공질체 및 그 제조 방법, 정전척 및 그 제조 방법, 기판 고정 장치
MINEMURA TOMOTAKE (author)
2019-02-07
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
European Patent Office | 2024
Ceramic mixture paste, porous body, electrostatic chuck, and substrate fixing device
| European Patent Office | 2023
CERAMIC MIXTURE PASTE, POROUS BODY, ELECTROSTATIC CHUCK, AND SUBSTRATE FIXING DEVICE
| European Patent Office | 2019
| European Patent Office | 2019
Electrostatic chuck, substrate fixing device and manufacturing method of electrostatic chuck
| European Patent Office | 2023