A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SPUTTERING TARGET MEMBER SPUTTERING TARGET ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET MEMBER
The present invention provides a sputtering target member capable of being bonded to a backing member while restricting a decline in mechanical strength of a target material, a sputtering target assembly provided with the sputtering target member, and a manufacturing method of the sputtering target member. The sputtering target member sequentially comprises: a target material formed with an oxide ceramic sintering body; a base layer formed with an In-Ni alloy on a surface of at least one direction of the target material; and a bonding layer containing 50 mass% or more of indium.
[과제] 본 발명은 타깃재의 기계적 강도의 저하를 억제하면서, 배킹 부재와의 접합이 가능한 스퍼터링 타깃 부재, 및 이러한 스퍼터링 타깃 부재를 구비하는 스퍼터링 타깃 조립체, 및 스퍼터링 타깃 부재의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. [해결 수단] 산화물 세라믹 소결체로 이루어지는 타깃재와, 상기 타깃재의 적어도 일방의 표면에 In-Ni 합금으로 이루어지는 기초층과, 인듐을 50질량% 이상 함유하는 접합층을 순서대로 구비하는 스퍼터링 타깃 부재.
SPUTTERING TARGET MEMBER SPUTTERING TARGET ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET MEMBER
The present invention provides a sputtering target member capable of being bonded to a backing member while restricting a decline in mechanical strength of a target material, a sputtering target assembly provided with the sputtering target member, and a manufacturing method of the sputtering target member. The sputtering target member sequentially comprises: a target material formed with an oxide ceramic sintering body; a base layer formed with an In-Ni alloy on a surface of at least one direction of the target material; and a bonding layer containing 50 mass% or more of indium.
[과제] 본 발명은 타깃재의 기계적 강도의 저하를 억제하면서, 배킹 부재와의 접합이 가능한 스퍼터링 타깃 부재, 및 이러한 스퍼터링 타깃 부재를 구비하는 스퍼터링 타깃 조립체, 및 스퍼터링 타깃 부재의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. [해결 수단] 산화물 세라믹 소결체로 이루어지는 타깃재와, 상기 타깃재의 적어도 일방의 표면에 In-Ni 합금으로 이루어지는 기초층과, 인듐을 50질량% 이상 함유하는 접합층을 순서대로 구비하는 스퍼터링 타깃 부재.
SPUTTERING TARGET MEMBER SPUTTERING TARGET ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET MEMBER
스퍼터링 타깃 부재, 스퍼터링 타깃 조립체 및 스퍼터링 타깃 부재의 제조 방법
KAKENO TAKASHI (author) / KUGE TOSHIHIRO (author)
2019-10-07
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2019
European Patent Office | 2021
| European Patent Office | 2020
MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET MEMBER, AND SPUTTERING TARGET MEMBER
| European Patent Office | 2020
| European Patent Office | 2020