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MgAl2O4 소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAl2O4 소결체의 제조 방법
상대 밀도가 90％ 이상이고, 또한 L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 90 이상인 것을 특징으로 하는 MgAlO소결체. MgAlO분말을 1150 내지 1300℃에서 핫 프레스한 후, 1350℃ 이상에서 대기 소결하는 것을 특징으로 하는 MgAlO소결체의 제조 방법. 본 발명의 실시 형태는, 고밀도이고 또한 백색의 MgAlO소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAlO소결체의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
Provided is a MgAl2O4 sintered body, which includes a relative density of the MgAl2O4 sintered body being 90% or higher, and an L* value in a L*a*b* color system being 90 or more. A method of producing a MgAl2O4 sintered body is characterized by that a MgAl2O4 powder is hot pressed at 1150 to 1300° C., and is thereafter subjected to atmospheric sintering at 1350° C. or higher. Embodiments of the present invention address the issue of providing a high density and white MgAl2O4 sintered body and a sputtering target using the sintered body, and a method of producing a MgAl2O4 sintered body.
MgAl2O4 소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAl2O4 소결체의 제조 방법
상대 밀도가 90％ 이상이고, 또한 L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 90 이상인 것을 특징으로 하는 MgAlO소결체. MgAlO분말을 1150 내지 1300℃에서 핫 프레스한 후, 1350℃ 이상에서 대기 소결하는 것을 특징으로 하는 MgAlO소결체의 제조 방법. 본 발명의 실시 형태는, 고밀도이고 또한 백색의 MgAlO소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAlO소결체의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
Provided is a MgAl2O4 sintered body, which includes a relative density of the MgAl2O4 sintered body being 90% or higher, and an L* value in a L*a*b* color system being 90 or more. A method of producing a MgAl2O4 sintered body is characterized by that a MgAl2O4 powder is hot pressed at 1150 to 1300° C., and is thereafter subjected to atmospheric sintering at 1350° C. or higher. Embodiments of the present invention address the issue of providing a high density and white MgAl2O4 sintered body and a sputtering target using the sintered body, and a method of producing a MgAl2O4 sintered body.
MgAl2O4 소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAl2O4 소결체의 제조 방법
NARITA SATOYASU (author)
2019-10-10
Patent
Electronic Resource
Korean