A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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소결체, 스퍼터링 타깃, 산화물 박막, 박막 트랜지스터, 전자 기기 및 소결체의 제조 방법
In 원소, Ga 원소 및 Al 원소를 포함하는 산화물의 소결체로서, 상기 In 원소 및 상기 Al 원소의 원자 조성비가 하기 식 (1) 및 하기 식 (2) 를 충족시키는, 소결체. [In]/([In]＋[Ga]＋[Al])＞0.70 ····(1) [Al]/([In]＋[Ga]＋[Al])＞0.01 ····(2)
A sintered body of an oxide containing an In element, a Ga element, and an Al element, wherein the atomic compositional ratio of the In element and the Al element satisfies formula (1) and formula (2). [In]/([In]+[Ga]+[Al])>0.70 … (1) [Al]/([In]+[Ga]+[Al])>0.01 … (2)
소결체, 스퍼터링 타깃, 산화물 박막, 박막 트랜지스터, 전자 기기 및 소결체의 제조 방법
In 원소, Ga 원소 및 Al 원소를 포함하는 산화물의 소결체로서, 상기 In 원소 및 상기 Al 원소의 원자 조성비가 하기 식 (1) 및 하기 식 (2) 를 충족시키는, 소결체. [In]/([In]＋[Ga]＋[Al])＞0.70 ····(1) [Al]/([In]＋[Ga]＋[Al])＞0.01 ····(2)
A sintered body of an oxide containing an In element, a Ga element, and an Al element, wherein the atomic compositional ratio of the In element and the Al element satisfies formula (1) and formula (2). [In]/([In]+[Ga]+[Al])>0.70 … (1) [Al]/([In]+[Ga]+[Al])>0.01 … (2)
소결체, 스퍼터링 타깃, 산화물 박막, 박막 트랜지스터, 전자 기기 및 소결체의 제조 방법
KAWASHIMA EMI (author) / ITOSE MAMI (author) / KAIJO AKIRA (author) / INOUE KAZUYOSHI (author) / IWASE NOBUHIRO (author)
2024-11-08
Patent
Electronic Resource
Korean
MgAl2O4 소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAl2O4 소결체의 제조 방법
| European Patent Office | 2019