A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Methods for manufacture of capillary sintering body for package wire bonding
The present invention relates to a method for manufacturing a capillary sintering body for package wire bonding, which includes: putting ethanol and polyethylene glycol in a container for stirring and mixing by applying ultrasonic waves, putting double-layered graphene into the stirring container and applying ultrasonic waves to separate the multi-layered graphene into single-layered graphene (S10); putting the alumina oxide powder in the stirring vessel and applying ultrasonic waves to promote the dispersion of graphene in the particles, and agitating the zirconia, chromium oxide, magnesium oxide, and nickel oxide (S12, S14); mixing and pulverizing the zirconia balls and the mixed slurry in a miller container (S16); filtering the zirconia balls in the miller container, pouring only the slurry into an evaporation dish and drying (S18). Accordingly, the impact resistance and abrasion resistance of the capillary tip portion are improved.
본 발명은, 교반용 용기에 에탄올 400g 및 폴리에틸렌글리콜 #400 48g를 넣고 초음파를 가하여 상기 에탄올 및 상기 폴리에틸렌글리콜이 잘 혼합되도록 한 후 상기 교반용 용기에 복층 그래핀 2~4g를 넣고 초음파를 가하여 복층 그래핀이 단층 그래핀으로 분리되도록 하는 단계(S10); 상기 교반용 용기에 산화알루미나 분말을 340~360g 넣고 초음파를 가하여 입자 내 그래핀 분산이 잘 되도록 하고 산화지르코니아 40~50g, 산화크롬 0.5~1g, 산화마그네슘 0.5~1g 및 산화니켈 0.5~1g를 상기 교반용 용기에 넣은 후 초음파를 가한 후 상기 교반용 용기를 교반기에 올려놓고 상기 교반기를 동작시키는 단계(S12, S14); 밀러용기에 Ф 5.0 지르코니아 볼 1/3 부피로 채운 후 밀러용기에 상기 단계(S12, S14)의 혼합된 슬러리를 넣은 후 혼합 및 분쇄하는 단계(S16); 밀러용기에서 지르코니아 볼을 걸러내고 슬러리만 증발 접시에 붓고 40℃를 유지하는 건조기에서 건조하는 단계(S18); 건조된 슬러리 덩어리를 분쇄 유발에서 부숴가면 150㎛ 망체로 걸러낸 후 150㎛ 망체로 걸러낸 분말에 대해 분쇄작업과 45㎛ 망체 체거름 작업을 거름체 위에 남은 분말이 거름체를 기울였을 때 유동성이 좋을 때까지 반복하는 단계(S20); 분말을 캐필러리 압축성형 금형에 투입하여 캐필러리 성형체를 생산하는 단계(S22); 결합제로 사용된 폴리에틸렌글리콜 #400을 최종 소결 전 저온에서 태워 버리는 단계(S24); 노에 캐필러리 성형체를 넣고 승온 속도 20℃/min.으로 0℃에서 200℃로 승온, 승온 속도 40℃/min.으로 200℃에서 1200℃로 승온, 승온 속도 25℃/min.으로 1200℃에서 1550℃로 승온, 및 1550℃에서 설정된 시간 동안 유지 후 자연 냉각하는 공정을 통해 소결하는 단계(S26); 및 소결된 캐필러리 성형체를 핫 아이소스태틱 프레스 장치에서 고온고압 열처리하는 단계(S28); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Methods for manufacture of capillary sintering body for package wire bonding
The present invention relates to a method for manufacturing a capillary sintering body for package wire bonding, which includes: putting ethanol and polyethylene glycol in a container for stirring and mixing by applying ultrasonic waves, putting double-layered graphene into the stirring container and applying ultrasonic waves to separate the multi-layered graphene into single-layered graphene (S10); putting the alumina oxide powder in the stirring vessel and applying ultrasonic waves to promote the dispersion of graphene in the particles, and agitating the zirconia, chromium oxide, magnesium oxide, and nickel oxide (S12, S14); mixing and pulverizing the zirconia balls and the mixed slurry in a miller container (S16); filtering the zirconia balls in the miller container, pouring only the slurry into an evaporation dish and drying (S18). Accordingly, the impact resistance and abrasion resistance of the capillary tip portion are improved.
본 발명은, 교반용 용기에 에탄올 400g 및 폴리에틸렌글리콜 #400 48g를 넣고 초음파를 가하여 상기 에탄올 및 상기 폴리에틸렌글리콜이 잘 혼합되도록 한 후 상기 교반용 용기에 복층 그래핀 2~4g를 넣고 초음파를 가하여 복층 그래핀이 단층 그래핀으로 분리되도록 하는 단계(S10); 상기 교반용 용기에 산화알루미나 분말을 340~360g 넣고 초음파를 가하여 입자 내 그래핀 분산이 잘 되도록 하고 산화지르코니아 40~50g, 산화크롬 0.5~1g, 산화마그네슘 0.5~1g 및 산화니켈 0.5~1g를 상기 교반용 용기에 넣은 후 초음파를 가한 후 상기 교반용 용기를 교반기에 올려놓고 상기 교반기를 동작시키는 단계(S12, S14); 밀러용기에 Ф 5.0 지르코니아 볼 1/3 부피로 채운 후 밀러용기에 상기 단계(S12, S14)의 혼합된 슬러리를 넣은 후 혼합 및 분쇄하는 단계(S16); 밀러용기에서 지르코니아 볼을 걸러내고 슬러리만 증발 접시에 붓고 40℃를 유지하는 건조기에서 건조하는 단계(S18); 건조된 슬러리 덩어리를 분쇄 유발에서 부숴가면 150㎛ 망체로 걸러낸 후 150㎛ 망체로 걸러낸 분말에 대해 분쇄작업과 45㎛ 망체 체거름 작업을 거름체 위에 남은 분말이 거름체를 기울였을 때 유동성이 좋을 때까지 반복하는 단계(S20); 분말을 캐필러리 압축성형 금형에 투입하여 캐필러리 성형체를 생산하는 단계(S22); 결합제로 사용된 폴리에틸렌글리콜 #400을 최종 소결 전 저온에서 태워 버리는 단계(S24); 노에 캐필러리 성형체를 넣고 승온 속도 20℃/min.으로 0℃에서 200℃로 승온, 승온 속도 40℃/min.으로 200℃에서 1200℃로 승온, 승온 속도 25℃/min.으로 1200℃에서 1550℃로 승온, 및 1550℃에서 설정된 시간 동안 유지 후 자연 냉각하는 공정을 통해 소결하는 단계(S26); 및 소결된 캐필러리 성형체를 핫 아이소스태틱 프레스 장치에서 고온고압 열처리하는 단계(S28); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Methods for manufacture of capillary sintering body for package wire bonding
패키지 와이어 본딩용 캐필러리 소결체 제조방법
KIM GI BOK (author)
2020-12-15
Patent
Electronic Resource
Korean
Capillary for Wire Bonding and Method for Manufacturing the Same
| European Patent Office | 2023
Advanced ceramics in wire bonding capillaries for semiconductor package technology
| British Library Online Contents | 2008
| British Library Online Contents | 2018