A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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A sintered body containing yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride and method of manufacturing the same
The present invention relates to a sintered body containing yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride and a manufacturing method thereof. The sintered body according to the present invention is sintered under the temperature condition of 1000-1300℃, has 4.0-4.8 g/cm^3 of the sintered density, and includes yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride. In addition, the method for manufacturing the sintered body according to the present invention comprises the steps of: calcining yttria (Y_2O_3); making slurry by weighing and mixing the calcined Y_2O_3 and YF_3 in a certain ratio; adding an organic additive to the slurry and then making granules by spray drying; preparing the granules into a molded body; and sintering the molded body. The present invention can increase productivity.
본 발명은 이트륨 옥시불화물과 불화이트륨을 포함하는 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 소결체는 1000 ~ 1300℃ 온도 조건에서 소결되며, 소결밀도는 4.0 ~ 4.8 g/cm3 이고, 이트륨 옥시불화물 및 불화이트륨을 포함하여 구성된다. 또한 본 발명의 소결체 제조 방법은 이트리아(Y2O3)를 하소하는 단계와, 하소된 Y2O3와 YF3를 일정 비율로 칭량 및 혼합하여 슬러리를 만드는 단계와, 상기 슬러리에 유기첨가제를 첨가한 다음 분무건조하여 과립을 만드는 단계와, 상기 과립을 성형체로 제조하는 단계 및 상기 성형체를 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
A sintered body containing yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride and method of manufacturing the same
The present invention relates to a sintered body containing yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride and a manufacturing method thereof. The sintered body according to the present invention is sintered under the temperature condition of 1000-1300℃, has 4.0-4.8 g/cm^3 of the sintered density, and includes yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride. In addition, the method for manufacturing the sintered body according to the present invention comprises the steps of: calcining yttria (Y_2O_3); making slurry by weighing and mixing the calcined Y_2O_3 and YF_3 in a certain ratio; adding an organic additive to the slurry and then making granules by spray drying; preparing the granules into a molded body; and sintering the molded body. The present invention can increase productivity.
본 발명은 이트륨 옥시불화물과 불화이트륨을 포함하는 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 소결체는 1000 ~ 1300℃ 온도 조건에서 소결되며, 소결밀도는 4.0 ~ 4.8 g/cm3 이고, 이트륨 옥시불화물 및 불화이트륨을 포함하여 구성된다. 또한 본 발명의 소결체 제조 방법은 이트리아(Y2O3)를 하소하는 단계와, 하소된 Y2O3와 YF3를 일정 비율로 칭량 및 혼합하여 슬러리를 만드는 단계와, 상기 슬러리에 유기첨가제를 첨가한 다음 분무건조하여 과립을 만드는 단계와, 상기 과립을 성형체로 제조하는 단계 및 상기 성형체를 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
A sintered body containing yttrium oxyfluoride and yttrium fluoride and method of manufacturing the same
이트륨 옥시불화물 및 불화이트륨을 포함하는 소결체 및 그 제조방법
LEE KANG HO (author) / SONG JONG SEOB (author) / EOM JUNG HYE (author) / PARK JUNG NAM (author) / CHOI HYUN JONG (author)
2022-07-07
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
European Patent Office | 2023
| European Patent Office | 2023
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2019
SINTERED COMPACT OF YTTRIUM OXYFLUORIDE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE MEMBER USING THE SAME
| European Patent Office | 2022