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본 출원은 PMNT 표적 재료의 제조 방법을 제공하고, MNT 전구체를 획득하는 단계; MNT 전구체를 PbO와 혼합하고 고온 처리하여, PMNT 파우더를 획득하는 단계; 상기 PMNT 파우더에 대해 볼밀링을 수행, 펠렛팅, 체질, 냉간 등방압 성형, 콜로이드 배출 및 열간 프레싱 소결을 수행하는 단계를 포함한다. 본 출원에서 제공한 제조 방법은 미세 구조가 균일하고, 치밀도가 높으며, 순도가 높은 PMNT 표적 재료를 얻을 수 있고, 특히 큰 사이즈 고품질의 PMNT 표적 재료를 획득할 수 있음으로써, PMNT 박막 제품의 수율을 향상시키고, 원가를 감소시킨다.
Provided is a preparation method for a PMNT target material, comprising: obtaining an MNT precursor; mixing the MNT precursor with PbO, and treating same at a high temperature to obtain PMNT powder; carrying out ball milling, granulation, sieving, cold isostatic pressing, binder discharging, and hot-pressing sintering treatment on the PMNT powder to obtain a PMNT target material. By means of the provided preparation method, a PMNT target material having uniform microstructure, high density and high purity can be obtained, and particularly, a large-sized high-quality PMNT target material can be obtained, thereby improving the yield of PMNT thin film products and reducing costs.
본 출원은 PMNT 표적 재료의 제조 방법을 제공하고, MNT 전구체를 획득하는 단계; MNT 전구체를 PbO와 혼합하고 고온 처리하여, PMNT 파우더를 획득하는 단계; 상기 PMNT 파우더에 대해 볼밀링을 수행, 펠렛팅, 체질, 냉간 등방압 성형, 콜로이드 배출 및 열간 프레싱 소결을 수행하는 단계를 포함한다. 본 출원에서 제공한 제조 방법은 미세 구조가 균일하고, 치밀도가 높으며, 순도가 높은 PMNT 표적 재료를 얻을 수 있고, 특히 큰 사이즈 고품질의 PMNT 표적 재료를 획득할 수 있음으로써, PMNT 박막 제품의 수율을 향상시키고, 원가를 감소시킨다.
Provided is a preparation method for a PMNT target material, comprising: obtaining an MNT precursor; mixing the MNT precursor with PbO, and treating same at a high temperature to obtain PMNT powder; carrying out ball milling, granulation, sieving, cold isostatic pressing, binder discharging, and hot-pressing sintering treatment on the PMNT powder to obtain a PMNT target material. By means of the provided preparation method, a PMNT target material having uniform microstructure, high density and high purity can be obtained, and particularly, a large-sized high-quality PMNT target material can be obtained, thereby improving the yield of PMNT thin film products and reducing costs.
PMNT 표적 재료 및 그 제조 방법
2024-10-21
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
Effect of Different Doping on the Structure and Field-Stability of PMNT Ceramics
British Library Online Contents | 2007
|Growth and characterization of PMNT relaxor-based ferroelectric single crystals by flux method
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|British Library Online Contents | 2010
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