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Provided is a preparation method for a PMNT target material, comprising: obtaining an MNT precursor; mixing the MNT precursor with PbO, and treating same at a high temperature to obtain PMNT powder; carrying out ball milling, granulation, sieving, cold isostatic pressing, binder discharging, and hot-pressing sintering treatment on the PMNT powder to obtain a PMNT target material. By means of the provided preparation method, a PMNT target material having uniform microstructure, high density and high purity can be obtained, and particularly, a large-sized high-quality PMNT target material can be obtained, thereby improving the yield of PMNT thin film products and reducing costs.
L'invention concerne un procédé de préparation d'un matériau cible PMNT, comprenant : l'obtention d'un précurseur MNT ; le mélange du précurseur MNT avec PbO, et le traitement de celui-ci à une température élevée pour obtenir une poudre PMNT ; la réalisation d'un broyage à billes, d'une granulation, d'un tamisage, d'un pressage isostatique à froid, d'une évacuation de liant et d'un traitement de frittage par pressage à chaud sur la poudre PMNT pour obtenir un matériau cible PMNT. Au moyen du procédé de préparation fourni, un matériau cible PMNT ayant une microstructure uniforme, une densité élevée et une pureté élevée peut être obtenu, et en particulier, un matériau cible PMNT de haute qualité de grande taille peut être obtenu, ce qui permet d'améliorer le rendement de produits de film mince de PMNT et de réduire les coûts.
提供了一种PMNT靶材的制备方法,包括:获得MNT前驱体;将MNT前驱体与PbO混合并进行高温处理,获得PMNT粉体;将PMNT粉体进行球磨、造粒、过筛、冷等静压成型、排胶、热压烧结处理,获得PMNT靶材。提供的制备方法可以得到微观结构均匀、致密度高、纯度高的PMNT靶材,特别是可以获得大尺寸高质量的PMNT靶材,从而提高PMNT薄膜产品的成品率,降低成本。
Provided is a preparation method for a PMNT target material, comprising: obtaining an MNT precursor; mixing the MNT precursor with PbO, and treating same at a high temperature to obtain PMNT powder; carrying out ball milling, granulation, sieving, cold isostatic pressing, binder discharging, and hot-pressing sintering treatment on the PMNT powder to obtain a PMNT target material. By means of the provided preparation method, a PMNT target material having uniform microstructure, high density and high purity can be obtained, and particularly, a large-sized high-quality PMNT target material can be obtained, thereby improving the yield of PMNT thin film products and reducing costs.
L'invention concerne un procédé de préparation d'un matériau cible PMNT, comprenant : l'obtention d'un précurseur MNT ; le mélange du précurseur MNT avec PbO, et le traitement de celui-ci à une température élevée pour obtenir une poudre PMNT ; la réalisation d'un broyage à billes, d'une granulation, d'un tamisage, d'un pressage isostatique à froid, d'une évacuation de liant et d'un traitement de frittage par pressage à chaud sur la poudre PMNT pour obtenir un matériau cible PMNT. Au moyen du procédé de préparation fourni, un matériau cible PMNT ayant une microstructure uniforme, une densité élevée et une pureté élevée peut être obtenu, et en particulier, un matériau cible PMNT de haute qualité de grande taille peut être obtenu, ce qui permet d'améliorer le rendement de produits de film mince de PMNT et de réduire les coûts.
提供了一种PMNT靶材的制备方法,包括:获得MNT前驱体;将MNT前驱体与PbO混合并进行高温处理,获得PMNT粉体;将PMNT粉体进行球磨、造粒、过筛、冷等静压成型、排胶、热压烧结处理,获得PMNT靶材。提供的制备方法可以得到微观结构均匀、致密度高、纯度高的PMNT靶材,特别是可以获得大尺寸高质量的PMNT靶材,从而提高PMNT薄膜产品的成品率,降低成本。
PMNT TARGET MATERIAL AND PREPARATION METHOD THEREFOR
MATÉRIAU CIBLE PMNT ET SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION
一种PMNT靶材及其制备方法
2024-10-17
Patent
Electronic Resource
Chinese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Growth and characterization of PMNT relaxor-based ferroelectric single crystals by flux method
British Library Online Contents | 2003
|European Patent Office | 2024
|Effect of Different Doping on the Structure and Field-Stability of PMNT Ceramics
British Library Online Contents | 2007
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