A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
CERAMIC MATERIAL AND ELECTROSTATIC CHUCK APPARATUS
Provided is a composite sintered body for electrostatic chucks, the composite sintered body being less susceptible to damage when exposed to high power plasma. Also provided are an electrostatic chuck apparatus that uses the composite sintered body for electrostatic chucks, and a method for manufacturing the composite sintered body for electrostatic chucks. The composite sintered body is a composite of an insulating ceramic and silicon carbide, wherein the crystal grains of the silicon carbide are dispersed in the crystal grain boundaries and crystal grains of the main phase formed by crystal grains of the insulating ceramic being sintered, the composite sintered body includes at least 60% by volume of crystal grains having a β-SiC type crystal structure relative to the total amount of silicon carbide crystal grains, the composite sintered body includes pores present in the crystal grain boundaries, and the ratio of the apparent density of the composite sintered body to an assumed true density that the composite sintered body would be assumed to have should there be no pores is 97% or higher.
L'invention concerne un corps fritté composite pour des mandrins électrostatiques, le corps fritté composite présentant moins de risque d'être endommagé lorsqu'il est exposé à un plasma de forte puissance. L'invention concerne également un appareil de fixation électrostatique qui utilise le corps fritté composite pour des mandrins électrostatiques, et un procédé de fabrication dudit corps fritté composite. Le corps fritté composite est constitué d'une céramique isolante et d'un carbure de silicium, les grains cristallins du carbure de silicium étant dispersés dans les joints de grains cristallins et les grains cristallins de la phase principale formée par les grains cristallins de la céramique isolante étant frittés ; le corps fritté composite comprend au moins 60 % en volume de grains cristallins ayant une structure cristalline de type bêta-SiC par rapport à la quantité totale des grains cristallins de carbure de silicium, le corps fritté composite comprenant des pores présents dans les joints de grains cristallins, et le rapport de la densité apparente du corps fritté composite sur la densité réelle supposée que le corps fritté composite aurait en l'absence de pores étant supérieur ou égal à 97 %.
高出力のプラズマに曝露しても破損しにくい静電チャック用複合焼結体を提供する。また、このような静電チャック用複合焼結体を用いた静電チャック装置、および静電チャック用複合焼結体の製造方法を提供する。絶縁性セラミックスと炭化ケイ素との複合焼結体であり、炭化ケイ素の結晶粒は、絶縁性セラミックスの結晶粒が焼結してなる主相の結晶粒界および結晶粒内に分散しており、炭化ケイ素の結晶粒の全体に対して、β－ＳｉＣ型の結晶構造を有する結晶粒を６０体積％より多く含み、複合焼結体は、結晶粒界に存在する気孔を含み、複合焼結体が気孔を含まないとしたときの仮想真密度に対する、複合焼結体の見掛け密度の割合は９７％以上である静電チャック用複合焼結体。
CERAMIC MATERIAL AND ELECTROSTATIC CHUCK APPARATUS
Provided is a composite sintered body for electrostatic chucks, the composite sintered body being less susceptible to damage when exposed to high power plasma. Also provided are an electrostatic chuck apparatus that uses the composite sintered body for electrostatic chucks, and a method for manufacturing the composite sintered body for electrostatic chucks. The composite sintered body is a composite of an insulating ceramic and silicon carbide, wherein the crystal grains of the silicon carbide are dispersed in the crystal grain boundaries and crystal grains of the main phase formed by crystal grains of the insulating ceramic being sintered, the composite sintered body includes at least 60% by volume of crystal grains having a β-SiC type crystal structure relative to the total amount of silicon carbide crystal grains, the composite sintered body includes pores present in the crystal grain boundaries, and the ratio of the apparent density of the composite sintered body to an assumed true density that the composite sintered body would be assumed to have should there be no pores is 97% or higher.
L'invention concerne un corps fritté composite pour des mandrins électrostatiques, le corps fritté composite présentant moins de risque d'être endommagé lorsqu'il est exposé à un plasma de forte puissance. L'invention concerne également un appareil de fixation électrostatique qui utilise le corps fritté composite pour des mandrins électrostatiques, et un procédé de fabrication dudit corps fritté composite. Le corps fritté composite est constitué d'une céramique isolante et d'un carbure de silicium, les grains cristallins du carbure de silicium étant dispersés dans les joints de grains cristallins et les grains cristallins de la phase principale formée par les grains cristallins de la céramique isolante étant frittés ; le corps fritté composite comprend au moins 60 % en volume de grains cristallins ayant une structure cristalline de type bêta-SiC par rapport à la quantité totale des grains cristallins de carbure de silicium, le corps fritté composite comprenant des pores présents dans les joints de grains cristallins, et le rapport de la densité apparente du corps fritté composite sur la densité réelle supposée que le corps fritté composite aurait en l'absence de pores étant supérieur ou égal à 97 %.
高出力のプラズマに曝露しても破損しにくい静電チャック用複合焼結体を提供する。また、このような静電チャック用複合焼結体を用いた静電チャック装置、および静電チャック用複合焼結体の製造方法を提供する。絶縁性セラミックスと炭化ケイ素との複合焼結体であり、炭化ケイ素の結晶粒は、絶縁性セラミックスの結晶粒が焼結してなる主相の結晶粒界および結晶粒内に分散しており、炭化ケイ素の結晶粒の全体に対して、β－ＳｉＣ型の結晶構造を有する結晶粒を６０体積％より多く含み、複合焼結体は、結晶粒界に存在する気孔を含み、複合焼結体が気孔を含まないとしたときの仮想真密度に対する、複合焼結体の見掛け密度の割合は９７％以上である静電チャック用複合焼結体。
CERAMIC MATERIAL AND ELECTROSTATIC CHUCK APPARATUS
MATÉRIAU EN CÉRAMIQUE ET DISPOSITIF DE FIXATION ÉLECTROSTATIQUE
セラミックス材料、静電チャック装置
YOSHIOKA YOSHIKI (author) / HIDAKA NOBUHIRO (author) / KUGIMOTO HIRONORI (author)
2017-08-03
Patent
Electronic Resource
Japanese
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
European Patent Office | 2023
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
| European Patent Office | 2017