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YTTRIUM ALUMINUM SILICATE GLASS CERAMIC COATING FOR SEMICONDUCTOR CHAMBER APPARATUS
Articles may be protected against halide plasma, by applying a rare earth-containing glaze to the surface of the article. The glaze may be a coating comprising; 20 to 90 mol% SiO2, 0 to 60 mol% Al2O3, 10 to 80 mol% rare earth oxides and/or rare earth fluorides (REX), wherein SiO2+ Al2O3+REX ≥60 mol%.
Certains articles peuvent être protégés contre un plasma d'halogénures, par l'application sur la surface de l'article d'une glaçure contenant des terres rares. La glaçure peut être un revêtement contenant : de 20 à 90 % en moles de SiO2, de 0 à 60 % en moles d'Al2O3, de 10 à 80 % en moles d'oxydes de terres rares et/ou de fluorures de terres rares (REX), sachant que SiO2 + Al2O3 + REX ≥ 60 % en moles.
YTTRIUM ALUMINUM SILICATE GLASS CERAMIC COATING FOR SEMICONDUCTOR CHAMBER APPARATUS
Articles may be protected against halide plasma, by applying a rare earth-containing glaze to the surface of the article. The glaze may be a coating comprising; 20 to 90 mol% SiO2, 0 to 60 mol% Al2O3, 10 to 80 mol% rare earth oxides and/or rare earth fluorides (REX), wherein SiO2+ Al2O3+REX ≥60 mol%.
Certains articles peuvent être protégés contre un plasma d'halogénures, par l'application sur la surface de l'article d'une glaçure contenant des terres rares. La glaçure peut être un revêtement contenant : de 20 à 90 % en moles de SiO2, de 0 à 60 % en moles d'Al2O3, de 10 à 80 % en moles d'oxydes de terres rares et/ou de fluorures de terres rares (REX), sachant que SiO2 + Al2O3 + REX ≥ 60 % en moles.
YTTRIUM ALUMINUM SILICATE GLASS CERAMIC COATING FOR SEMICONDUCTOR CHAMBER APPARATUS
REVÊTEMENT CÉRAMIQUE EN VERRE DE SILICATE D'YTTRIUM-ALUMINIUM POUR APPAREIL DE CHAMBRE À SEMI-CONDUCTEUR
LEE CHENGTSIN (author)
2018-05-11
Patent
Electronic Resource
English
Yttrium aluminum silicate glass ceramic coating for semiconductor chamber apparatus
| European Patent Office | 2022
Yttrium Aluminum Silicate Glass Ceramic Coating For Semiconductor Chamber Apparatus
| European Patent Office | 2019
YTTRIUM ALUMINUM COATING FOR PLASMA PROCESSING CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2023
| British Library Online Contents | 2015
PLASMA RESISTANT YTTRIUM ALUMINUM OXIDE CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2024