A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
A ceramic which comprises, in terms of mass%, 20.0-55.0% of BN, 5.0-40.0% of SiC and 3.0-60.0% of ZrO2 and/or Si3N4. This ceramic has a heat expansion coefficient at -50 to 500°C of 1.0×10-6 to 5.0×10-6/°C, a low chargeability (106 to 1014 Ω∙cm expressed in volume resistivity) and an excellent free cutting property, which makes it suitably usable for, e.g., a probe-guiding part guiding a probe of a probe card, a socket for inspecting a package, etc.
La présente invention concerne une céramique qui comprend, en % en masse, de 20,0 à 55,0 % de BN, de 5,0 à 40,0 % de SiC et de 3,0 à 60,0 % de ZrO2 et/ou de Si3N4. Cette céramique présente un coefficient de dilatation thermique entre -50 et 500°C allant de 1,0×10-6 à 5,0×10-6/°C, une capacité de charge faible allant de 106 à 1014 Ω∙cm (exprimée en résistivité volumique), et une excellente propriété de coupe libre, ce qui lui permet de pouvoir être utilisée de façon appropriée pour, par exemple, une partie de guidage de sonde guidant une sonde d'une carte sonde, une douille d'inspection d'emballage, etc.
質量％、ＢＮ：２０．０～５５．０％、ＳｉＣ：５．０～４０．０％、ＺｒＯ２および／またはＳｉ３Ｎ４：３．０～６０．０％で構成されるセラミックス。このセラミックスは、－５０～５００℃における熱膨張係数が１．０×１０－６～５．０×１０－６／℃であり、低帯電性（体積抵抗率で１０６～１０１４Ω・ｃｍ）および快削性に優れるので、たとえば、プローブカードのプローブを案内するプローブ案内部品、パッケージ検査用ソケットなどに用いるのに適している。
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
A ceramic which comprises, in terms of mass%, 20.0-55.0% of BN, 5.0-40.0% of SiC and 3.0-60.0% of ZrO2 and/or Si3N4. This ceramic has a heat expansion coefficient at -50 to 500°C of 1.0×10-6 to 5.0×10-6/°C, a low chargeability (106 to 1014 Ω∙cm expressed in volume resistivity) and an excellent free cutting property, which makes it suitably usable for, e.g., a probe-guiding part guiding a probe of a probe card, a socket for inspecting a package, etc.
La présente invention concerne une céramique qui comprend, en % en masse, de 20,0 à 55,0 % de BN, de 5,0 à 40,0 % de SiC et de 3,0 à 60,0 % de ZrO2 et/ou de Si3N4. Cette céramique présente un coefficient de dilatation thermique entre -50 et 500°C allant de 1,0×10-6 à 5,0×10-6/°C, une capacité de charge faible allant de 106 à 1014 Ω∙cm (exprimée en résistivité volumique), et une excellente propriété de coupe libre, ce qui lui permet de pouvoir être utilisée de façon appropriée pour, par exemple, une partie de guidage de sonde guidant une sonde d'une carte sonde, une douille d'inspection d'emballage, etc.
質量％、ＢＮ：２０．０～５５．０％、ＳｉＣ：５．０～４０．０％、ＺｒＯ２および／またはＳｉ３Ｎ４：３．０～６０．０％で構成されるセラミックス。このセラミックスは、－５０～５００℃における熱膨張係数が１．０×１０－６～５．０×１０－６／℃であり、低帯電性（体積抵抗率で１０６～１０１４Ω・ｃｍ）および快削性に優れるので、たとえば、プローブカードのプローブを案内するプローブ案内部品、パッケージ検査用ソケットなどに用いるのに適している。
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
CÉRAMIQUE, PIÈCE DE GUIDAGE DE SONDE, CARTE SONDE ET DOUILLE D'INSPECTION D'EMBALLAGE
セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット
YAMAGISHI WATARU (author) / MORI KAZUMASA (author) / ETO SHUNICHI (author)
2019-04-25
Patent
Electronic Resource
Japanese
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| European Patent Office | 2021
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| European Patent Office | 2025
Ceramic, probe-guiding part, probe card and socket for inspecting package
| European Patent Office | 2020
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| European Patent Office | 2021
Ceramic, probe guidance component, probe card, and package inspecting socket
| European Patent Office | 2020