A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND PACKAGE INSPECTING SOCKET
This ceramic includes, in mass%, 20.0-60.0% of Si3N4, 25.0-70.0% of ZrO2, and 5.0-15.0% of at least one selected from MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO, and V2O5. The ceramic has a thermal expansion coefficient similar to that of silicon, exhibits excellent mechanical strength, can be processed on a fine scale with high accuracy, and is capable of inhibiting the formation of particles.
La céramique selon l'invention comprend, en % en masse, 20,0-60,0% de Si3N4, 25,0-70,0% de ZrO2 et 5,0-15,0% d'au moins l'un choisi parmi MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO et V2O5. La céramique possède un coefficient de dilatation thermique similaire à celui du silicium, présente une excellente résistance mécanique, peut être traitée sur une échelle fine avec une précision élevée et est en mesure d'inhiber la formation de particules.
質量％で、Ｓｉ３Ｎ４：２０．０～６０．０％と、ＺｒＯ２：２５．０～７０．０％と、ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＯ、ＨｆＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｏＯ３、ＣｒＯ、ＣｏＯ、ＺｎＯ、Ｇａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＮｉＯおよびＶ２Ｏ５から選択される１種類以上：５．０～１５．０％とを含有する、セラミックス。このセラミックスは、シリコンと同程度の熱膨張係数と、優れた機械的強度とを有し、かつ高精度に細密な加工ができ、且つパーティクルの発生を抑止できる。
CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND PACKAGE INSPECTING SOCKET
This ceramic includes, in mass%, 20.0-60.0% of Si3N4, 25.0-70.0% of ZrO2, and 5.0-15.0% of at least one selected from MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO, and V2O5. The ceramic has a thermal expansion coefficient similar to that of silicon, exhibits excellent mechanical strength, can be processed on a fine scale with high accuracy, and is capable of inhibiting the formation of particles.
La céramique selon l'invention comprend, en % en masse, 20,0-60,0% de Si3N4, 25,0-70,0% de ZrO2 et 5,0-15,0% d'au moins l'un choisi parmi MgO, Y2O3, CeO2, CaO, HfO2, TiO2, Al2O3, SiO2, MoO3, CrO, CoO, ZnO, Ga2O3, Ta2O5, NiO et V2O5. La céramique possède un coefficient de dilatation thermique similaire à celui du silicium, présente une excellente résistance mécanique, peut être traitée sur une échelle fine avec une précision élevée et est en mesure d'inhiber la formation de particules.
質量％で、Ｓｉ３Ｎ４：２０．０～６０．０％と、ＺｒＯ２：２５．０～７０．０％と、ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＣａＯ、ＨｆＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｏＯ３、ＣｒＯ、ＣｏＯ、ＺｎＯ、Ｇａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＮｉＯおよびＶ２Ｏ５から選択される１種類以上：５．０～１５．０％とを含有する、セラミックス。このセラミックスは、シリコンと同程度の熱膨張係数と、優れた機械的強度とを有し、かつ高精度に細密な加工ができ、且つパーティクルの発生を抑止できる。
CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND PACKAGE INSPECTING SOCKET
CÉRAMIQUE, CONSTITUANT DE GUIDAGE DE SONDE, CARTE À SONDE ET SUPPORT D'INSPECTION D'EMBALLAGE
セラミックス、プローブ案内部品、プローブカードおよびパッケージ検査用ソケット
YAMAGISHI WATARU (author) / MORI KAZUMASA (author) / ETO SHUNICHI (author)
2019-05-16
Patent
Electronic Resource
Japanese
Ceramic, probe guidance component, probe card, and package inspecting socket
| European Patent Office | 2020
CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND PACKAGE INSPECTING SOCKET
| European Patent Office | 2021
CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND SOCKET FOR PACKAGE INSPECTION
| European Patent Office | 2024
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| European Patent Office | 2019
CERAMIC, PROBE-GUIDING PART, PROBE CARD AND SOCKET FOR INSPECTING PACKAGE
| European Patent Office | 2021