A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET
An oxide sintered body according to one aspect of an embodiment includes indium, gallium, and zinc. The oxide sintered body includes a homologous structured compound represented by InGaZnO4 or InGaZn2O5, and a spinel structured compound represented by ZnGa2O4, and has a flexural strength of 180 MPa or more.
Un corps fritté d'oxyde selon un aspect d'un mode de réalisation comprend de l'indium, du gallium et du zinc. Le corps fritté d'oxyde comprend un composé structuré homologue représenté par InGaZnO4 ou InGaZn2O5, et un composé à structure spinelle représenté par ZnGa2O4, et a une résistance à la flexion de 180 MPa ou plus.
実施形態の一様態に係る酸化物焼結体は、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む酸化物焼結体であって、ＩｎＧａＺｎＯ４またはＩｎＧａＺｎ２Ｏ５で表されるホモロガス構造化合物と、ＺｎＧａ２Ｏ４で表されるスピネル構造化合物とを含み、抗折強度が１８０ＭＰａ以上である。
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET
An oxide sintered body according to one aspect of an embodiment includes indium, gallium, and zinc. The oxide sintered body includes a homologous structured compound represented by InGaZnO4 or InGaZn2O5, and a spinel structured compound represented by ZnGa2O4, and has a flexural strength of 180 MPa or more.
Un corps fritté d'oxyde selon un aspect d'un mode de réalisation comprend de l'indium, du gallium et du zinc. Le corps fritté d'oxyde comprend un composé structuré homologue représenté par InGaZnO4 ou InGaZn2O5, et un composé à structure spinelle représenté par ZnGa2O4, et a une résistance à la flexion de 180 MPa ou plus.
実施形態の一様態に係る酸化物焼結体は、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む酸化物焼結体であって、ＩｎＧａＺｎＯ４またはＩｎＧａＺｎ２Ｏ５で表されるホモロガス構造化合物と、ＺｎＧａ２Ｏ４で表されるスピネル構造化合物とを含み、抗折強度が１８０ＭＰａ以上である。
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET
CORPS FRITTÉ D'OXYDE ET CIBLE DE PULVÉRISATION
酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット
SHIRANITA RYO (author)
2019-12-26
Patent
Electronic Resource
Japanese
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2017
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2016
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2018