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THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
[Problem] To provide a thin film capacitor for which electrode conductivity is high and electrode irregularities are unlikely to be generate even if the capacitor if heated up to 700°C. [Solution] This thin film capacitor has a first electrode, a dielectric layer, and a second electrode. The dielectric layer contains an ABO2N-type oxynitride. The nitrogen concentration of the part of the dielectric layer that contacts the first electrode is no more than half the nitrogen concentration of the center part of the dielectric layer.
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un condensateur à film mince pour lequel la conductivité d'électrode est élevée et des irrégularités d'électrode sont peu susceptibles d'être générées même si le condensateur s'il est chauffé jusqu'à 700 °C. La solution selon l'invention concerne un condensateur à film mince comportant une première électrode, une couche diélectrique et une seconde électrode. La couche diélectrique contient un oxynitrure de type ABO2N. La concentration en azote de la partie de la couche diélectrique qui est en contact avec la première électrode n'est pas supérieure à la moitié de la concentration en azote de la partie centrale de la couche diélectrique.
【課題】７００℃程度まで加熱しても電極に凹凸が発生しにくく、電極の導電性が高い薄膜キャパシタを提供する。 【解決手段】 第１電極と、誘電体層と、第２電極と、を有する薄膜キャパシタである。誘電体層はＡＢＯ２Ｎ型酸窒化物を含む。誘電体層のうち第１電極に接する部分の窒素濃度が誘電体層の中央部分の窒素濃度の半分以下である。
THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
[Problem] To provide a thin film capacitor for which electrode conductivity is high and electrode irregularities are unlikely to be generate even if the capacitor if heated up to 700°C. [Solution] This thin film capacitor has a first electrode, a dielectric layer, and a second electrode. The dielectric layer contains an ABO2N-type oxynitride. The nitrogen concentration of the part of the dielectric layer that contacts the first electrode is no more than half the nitrogen concentration of the center part of the dielectric layer.
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un condensateur à film mince pour lequel la conductivité d'électrode est élevée et des irrégularités d'électrode sont peu susceptibles d'être générées même si le condensateur s'il est chauffé jusqu'à 700 °C. La solution selon l'invention concerne un condensateur à film mince comportant une première électrode, une couche diélectrique et une seconde électrode. La couche diélectrique contient un oxynitrure de type ABO2N. La concentration en azote de la partie de la couche diélectrique qui est en contact avec la première électrode n'est pas supérieure à la moitié de la concentration en azote de la partie centrale de la couche diélectrique.
【課題】７００℃程度まで加熱しても電極に凹凸が発生しにくく、電極の導電性が高い薄膜キャパシタを提供する。 【解決手段】 第１電極と、誘電体層と、第２電極と、を有する薄膜キャパシタである。誘電体層はＡＢＯ２Ｎ型酸窒化物を含む。誘電体層のうち第１電極に接する部分の窒素濃度が誘電体層の中央部分の窒素濃度の半分以下である。
THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
CONDENSATEUR À FILM MINCE ET CARTE DE CIRCUIT IMPRIMÉ ÉLECTRONIQUE
薄膜キャパシタおよび電子回路基板
YAMAZAKI KUMIKO (author) / SHIBAHARA TAKESHI (author) / YAMAZAKI JUNICHI (author)
2020-03-05
Patent
Electronic Resource
Japanese
DIELECTRIC THIN FILM, ELECTRONIC COMPONENT, THIN FILM CAPACITOR, AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
| European Patent Office | 2020
DIELECTRIC THIN FILM, ELECTRONIC COMPONENT, THIN FILM CAPACITOR, AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
| European Patent Office | 2020
DIELECTRIC THIN FILM, ELECTRONIC COMPONENT, THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD
| European Patent Office | 2020