A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
Provided is a silicon nitride powder having a total amount of fluorine of 100-1000 mass ppm and a total amount of Fe, Al, and Ca of 100-1000 mass ppm. Provided is a method for producing silicon nitride powder that has a step for sintering a raw material including silicon powder and a fluoride with a content of fluoride to silicon powder of 0.1-2 mass% in a mixed atmosphere including at least one selected from the group consisting of nitrogen, hydrogen, and ammonia to obtain a sintered product, and a step for treating the sintered product by hydrofluoric acid having a hydrogen fluoride concentration of 10-40 mass%.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium présentant une quantité totale de fluor de 100 à 1000 ppm en masse et une quantité totale de Fe, d'Al et de Ca de 100 à 1000 ppm en masse. L'invention concerne également un procédé de production de poudre de nitrure de silicium, comprenant : une étape de frittage d'une matière première contenant de la poudre de silicium et un fluorure, avec une teneur en fluorure par rapport à la poudre de silicium de 0,1 à 2 % en masse, dans une atmosphère mixte contenant au moins un élément sélectionné dans le groupe constitué par l'azote, l'hydrogène et l'ammoniac, afin d'obtenir un produit fritté ; et une étape de traitement du produit fritté par de l'acide fluorhydrique ayant une concentration de fluorure d'hydrogène de 10 à 40 % en masse.
全フッ素量が１００～１０００質量ｐｐｍであり、Ｆｅ、Ａｌ及びＣａの合計量が１００～１０００質量ｐｐｍである窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末とフッ化物を含み、ケイ素粉末に対するフッ化物の含有量が０．１～２質量％である原料を、窒素と水素及びアンモニアからなる群より選ばれる少なくとも一つを含む混合雰囲気下で焼成して焼成物を得る工程と、焼成物を弗化水素濃度が１０～４０質量％である弗酸で処理する工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
Provided is a silicon nitride powder having a total amount of fluorine of 100-1000 mass ppm and a total amount of Fe, Al, and Ca of 100-1000 mass ppm. Provided is a method for producing silicon nitride powder that has a step for sintering a raw material including silicon powder and a fluoride with a content of fluoride to silicon powder of 0.1-2 mass% in a mixed atmosphere including at least one selected from the group consisting of nitrogen, hydrogen, and ammonia to obtain a sintered product, and a step for treating the sintered product by hydrofluoric acid having a hydrogen fluoride concentration of 10-40 mass%.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium présentant une quantité totale de fluor de 100 à 1000 ppm en masse et une quantité totale de Fe, d'Al et de Ca de 100 à 1000 ppm en masse. L'invention concerne également un procédé de production de poudre de nitrure de silicium, comprenant : une étape de frittage d'une matière première contenant de la poudre de silicium et un fluorure, avec une teneur en fluorure par rapport à la poudre de silicium de 0,1 à 2 % en masse, dans une atmosphère mixte contenant au moins un élément sélectionné dans le groupe constitué par l'azote, l'hydrogène et l'ammoniac, afin d'obtenir un produit fritté ; et une étape de traitement du produit fritté par de l'acide fluorhydrique ayant une concentration de fluorure d'hydrogène de 10 à 40 % en masse.
全フッ素量が１００～１０００質量ｐｐｍであり、Ｆｅ、Ａｌ及びＣａの合計量が１００～１０００質量ｐｐｍである窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末とフッ化物を含み、ケイ素粉末に対するフッ化物の含有量が０．１～２質量％である原料を、窒素と水素及びアンモニアからなる群より選ばれる少なくとも一つを含む混合雰囲気下で焼成して焼成物を得る工程と、焼成物を弗化水素濃度が１０～４０質量％である弗酸で処理する工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CORPS FRITTÉ EN NITRURE DE SILICIUM
窒化ケイ素粉末及びその製造方法、並びに窒化ケイ素焼結体の製造方法
MIYASHITA TOSHIYUKI (author) / NAKAMURA YUZO (author)
2020-10-08
Patent
Electronic Resource
Japanese
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2021
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2021
SILICON NITRIDE POWDER, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2022
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2021
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2018