A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CONTROLLED POROSITY YTTRIUM OXIDE FOR ETCH APPLICATIONS
A sintered yttrium oxide body having a total impurity level of 40 ppm or less, a density of not less than 4.93 g/cm3, wherein the sintered yttrium oxide body has at least one surface comprising at least one pore, wherein no pore is larger than 5 μm in diameter. A process for making the sintered yttrium oxide body is also disclosed.
L'invention concerne un corps fritté d'oxyde d'yttrium ayant un taux total d'impuretés inférieur ou égal à 40 ppm, une densité non inférieure à 4,93 g/cm3, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins une surface comprenant au moins un pore, aucun pore n'étant supérieur à 5 µm de diamètre. L'invention concerne également un procédé de fabrication du corps en oxyde d'yttrium fritté.
CONTROLLED POROSITY YTTRIUM OXIDE FOR ETCH APPLICATIONS
A sintered yttrium oxide body having a total impurity level of 40 ppm or less, a density of not less than 4.93 g/cm3, wherein the sintered yttrium oxide body has at least one surface comprising at least one pore, wherein no pore is larger than 5 μm in diameter. A process for making the sintered yttrium oxide body is also disclosed.
L'invention concerne un corps fritté d'oxyde d'yttrium ayant un taux total d'impuretés inférieur ou égal à 40 ppm, une densité non inférieure à 4,93 g/cm3, le corps d'oxyde d'yttrium fritté ayant au moins une surface comprenant au moins un pore, aucun pore n'étant supérieur à 5 µm de diamètre. L'invention concerne également un procédé de fabrication du corps en oxyde d'yttrium fritté.
CONTROLLED POROSITY YTTRIUM OXIDE FOR ETCH APPLICATIONS
OXYDE D'YTTRIUM À POROSITÉ CONTRÔLÉE POUR APPLICATIONS DE GRAVURE
DONELON MATTHEW (author) / BISTA SAURAV (author) / WAGHMARE SAURABH (author) / DAVIS CHASE (author) / WEISSMAYER MICHAEL (author) / FRANZ FELIX (author)
2020-10-08
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
USE OF SINTERED NANOGRAINED YTTRIUM-BASED CERAMICS AS ETCH CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2017
USE OF SINTERED NANOGRAINED YTTRIUM-BASED CERAMICS AS ETCH CHAMBER COMPONENTS
| European Patent Office | 2017
Synthesis of europium-doped yttrium hydroxide and yttrium oxide nanosheets
| British Library Online Contents | 2008